專利名稱：半導(dǎo)體材料線切割專用刃料濕式循環(huán)研磨分級設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及半導(dǎo)體材料線切割專用刃料，尤其是涉及半導(dǎo)體材料線切割專用刃料濕式循環(huán)研磨分級設(shè)備。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有技術(shù)采用的研磨設(shè)備為間歇式球磨設(shè)備，研磨棒3-5層，研磨棒直徑100-200mm，單次投料量100kg，加球量300kg，研磨時間10小時以上，產(chǎn)出品粒度帶寬，單號產(chǎn)品產(chǎn)出率低，且必須通過本酸洗來去除球磨過程引入的Fe雜質(zhì)
實用新型內(nèi)容
本實用新型目的在于提供一種刃料產(chǎn)出率高、粒度分布集中的半導(dǎo)體材料線切割專用刃料濕式循環(huán)研磨分級設(shè)備。
為實現(xiàn)上述目的，本實用新型可采取下述技術(shù)方案本實用新型所述的半導(dǎo)體材料線切割專用刃料濕式循環(huán)研磨分級設(shè)備，它包括研磨缸和設(shè)置在所述研磨缸內(nèi)的由電機驅(qū)動的攪拌器，所述攪拌器由攪拌軸和上下水平間隔設(shè)置在攪拌軸上的研磨棒構(gòu)成；研磨缸的底部通過管道和設(shè)置在管道上的氣動隔膜泵與預(yù)混缸底部相連通；在研磨缸的頂部設(shè)置有與預(yù)混缸上部相通的溢流管；所述預(yù)混缸由缸體和設(shè)置在缸體內(nèi)的由電機驅(qū)動的刮壁器構(gòu)成。
在所述研磨缸內(nèi)壁涂覆有聚氨酯層。
水平間隔設(shè)置在所述攪拌軸上的研磨棒為八至十層，相鄰層的研磨棒軸向相互交錯90度角。
在所述預(yù)混缸上方設(shè)置有錐筒式旋流分級裝置，其底部的出口通過管道與連通研磨缸和預(yù)混缸的管道相通，其頂部的出口與泵體的入口相通，所述泵體的出口與預(yù)混缸底部的出口相通。
本實用新型的優(yōu)點在于研磨缸的底部通過管道和設(shè)置在管道上的氣動隔膜泵與預(yù)混缸底部相連通，并在研磨缸的項部設(shè)置有與預(yù)混缸上部相通的溢流管。因此物料通過研磨后進入預(yù)混缸，在預(yù)混缸內(nèi)形成分層，使粗顆粒物料再次進入研磨缸進行研磨，從而使物料的顆粒粒度分布集中，減少了過粉碎，提高了研磨原料的產(chǎn)出效率。設(shè)置在預(yù)混缸體內(nèi)的由電機驅(qū)動的刮壁器，以使物料循環(huán)的更好。研磨缸內(nèi)壁涂覆聚氨酯，不僅減少鋼球與研磨缸壁的磨擦，延長研磨缸體使用壽命，而且減少因此帶來的Fe雜質(zhì)。將研磨棒設(shè)置為8-10層，相鄰層的研磨棒軸向相互交錯90度角，利用球篩原理，減少了碳化硅顆粒與鋼球的無效碰撞、擠壓，從而減少了單質(zhì)鐵雜質(zhì)的引入，降低了化學(xué)處理工序的化學(xué)物質(zhì)投入量，用酸量減小50％以上，大顆粒被擠壓破碎，而小顆粒不會被破碎，從而保持了顆粒的尖銳形狀，提高刃料產(chǎn)品的切割能力。


圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
如圖所示，本實用新型所述的半導(dǎo)體材料線切割專用刃料濕式循環(huán)研磨分級設(shè)備，它包括研磨缸1和設(shè)置在所述研磨缸1內(nèi)的由電機驅(qū)動的攪拌器，在所述研磨缸1內(nèi)壁涂覆有聚氨酯層；所述攪拌器由攪拌軸2和上下水平間隔設(shè)置在攪拌軸2上的八層研磨棒3構(gòu)成；相鄰層的研磨棒3軸向相互交錯90度角。研磨缸1的底部通過管道4和設(shè)置在管道4上的氣動隔膜泵5與預(yù)混缸6底部相連通；在研磨缸1的頂部設(shè)置有與預(yù)混缸6上部相通的溢流管7；所述預(yù)混缸6由缸體和設(shè)置在缸體內(nèi)的由電機驅(qū)動的刮壁器8構(gòu)成。在預(yù)混缸6上方設(shè)置有錐筒式旋流分級裝置9，其底部的出口通過管道10與連通研磨缸1和預(yù)混缸6的管道4相通，其頂部的出口與泵體11的入口相通，所述泵體11的出口與預(yù)混缸6底部的出口相通。
權(quán)利要求1.一種半導(dǎo)體材料線切割專用刃料濕式循環(huán)研磨分級設(shè)備，它包括研磨缸(1)和設(shè)置在所述研磨缸(1)內(nèi)的由電機驅(qū)動的攪拌器，所述攪拌器由攪拌軸(2)和上下水平間隔設(shè)置在攪拌軸(2)上的研磨棒(3)構(gòu)成；其特征在于研磨缸(1)的底部通過管道(4)和設(shè)置在管道(4)上的氣動隔膜泵(5)與預(yù)混缸(6)底部相連通；在研磨缸(1)的頂部設(shè)置有與預(yù)混缸(6)上部相通的溢流管(7)；所述預(yù)混缸(6)由缸體和設(shè)置在缸體內(nèi)的由電機驅(qū)動的刮壁器(8)構(gòu)成。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分級設(shè)備，其特征在于在所述研磨缸(1)內(nèi)壁涂覆有聚氨酯層。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的分級設(shè)備，其特征在于水平間隔設(shè)置在所述攪拌軸(2)上的研磨棒(3)為八至十層，相鄰層的研磨棒(3)軸向相互交錯90度角。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分級設(shè)備，其特征在于在所述預(yù)混缸(6)上方設(shè)置有錐筒式旋流分級裝置(9)，其底部的出口通過管道(10)與連通研磨缸(1)和預(yù)混缸(6)的管道(4)相通，其頂部的出口與泵體(11)的入口相通，所述泵體(11)的出口與預(yù)混缸(6)底部的出口相通。
專利摘要本實用新型公開了一種半導(dǎo)體材料線切割專用刃料濕式循環(huán)研磨分級設(shè)備，它包括研磨缸和設(shè)置在所述研磨缸內(nèi)的由電機驅(qū)動的攪拌器，所述攪拌器由攪拌軸和上下水平間隔設(shè)置在攪拌軸上的研磨棒構(gòu)成；研磨缸的底部通過管道和設(shè)置在管道上的氣動隔膜泵與預(yù)混缸底部相連通；在研磨缸的頂部設(shè)置有與預(yù)混缸上部相通的溢流管；所述預(yù)混缸由缸體和設(shè)置在缸體內(nèi)的由電機驅(qū)動的刮壁器構(gòu)成。本實用新型的優(yōu)點在于使物料的顆粒粒度分布集中，減少了過粉碎，提高了研磨原料的產(chǎn)出效率。降低了化學(xué)處理工序的化學(xué)物質(zhì)投入量，用酸量減小50％以上，大顆粒被擠壓破碎，而小顆粒不會被破碎，從而保持了顆粒的尖銳形狀，提高刃料產(chǎn)品的切割能力。
文檔編號B02C23/08GK2920398SQ200620030500

公開日2007年7月11日 申請日期2006年6月27日 優(yōu)先權(quán)日2006年6月27日
發(fā)明者楊東平, 陶牮, 王力 申請人:河南醒獅高新技術(shù)股份有限公司