一種便于調(diào)節(jié)的硅晶棒倒角設備的制造方法
【技術(shù)領域】
[0001]本實用新型涉及硅晶片制造技術(shù)領域，具體講是一種便于調(diào)節(jié)的硅晶棒倒角設備。
【背景技術(shù)】
[0002]在娃晶片生廣制造的過程中，首先需要將娃晶棒進行切片，但是在切片之前為了保證切片后硅晶片的質(zhì)量需要將硅晶棒倒角，未倒角的硅晶棒切片后的硅晶片邊緣表面會存在有棱角毛刺崩邊甚至有裂縫等缺陷，邊緣表面比較粗糙，為了增加硅晶片邊緣表面機械強度、減少顆粒污染，因此需要將硅晶棒的邊緣磨削呈圓弧狀或梯形。倒角工序大都在硅晶棒倒角設備上進行，目前有一種硅晶棒倒角設備包括機體，機體內(nèi)設有打磨組件，機體上設有兩塊限位塊，所述兩限位塊之間形成有適于對放置硅晶棒的V形槽，V形槽底部設有打磨口，所述打磨組件的打磨部件位于打磨口內(nèi)，所述限位塊分為活動限位塊和固定限位塊，所述活動限位塊通過驅(qū)動組件驅(qū)動其在水平方向上靠近或遠離所述固定限位塊。在實踐操作中，通過對活動限位塊與固定限位塊之間間距的調(diào)節(jié)，實現(xiàn)在實際生產(chǎn)時根據(jù)不同規(guī)格的硅晶棒對V形槽底部的打磨口寬度的調(diào)整，但是目前活動限位塊的固定方式大都是采用螺栓固定的方式，在調(diào)整打磨口寬度時，先手動松動螺栓，將活動限位塊沿水平方向平移到合適位置時再鎖緊螺栓，此種調(diào)整的方式往往不夠準確需要多次調(diào)節(jié)活動限位塊的位置，操作極為繁瑣。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]本實用新型所要解決的技術(shù)問題是，克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提供一種便于調(diào)節(jié)的硅晶棒倒角設備，此設備可以快捷的對V形槽底部打磨口的寬度進行調(diào)節(jié)，提高工作效率。
[0004]為解決上述技術(shù)問題，本實用新型提出一種便于調(diào)節(jié)的硅晶棒倒角設備，包括機體，機體內(nèi)設有打磨組件，機體上設有兩塊限位塊，所述兩限位塊之間形成有適于對放置硅晶棒的V形槽，V形槽底部設有打磨口，所述機體內(nèi)與所述打磨口對應的位置設有打磨組件，兩限位塊中的一個為固定限位塊，另一個為活動限位塊，所述機體上設有帶動所述活動限位塊在水平方向上靠近或遠離所述固定限位塊的驅(qū)動組件，驅(qū)動組件包括設于機體上的至少兩根水平且平行設置的絲桿和一根傳動軸，所述各絲桿的一端與所述活動限位塊上的螺孔配合，所述各絲桿的另一端設有第一錐齒輪，所述傳動軸垂直于絲桿設置，并在其上設有與所述第一錐齒輪相嚙合的第二錐齒輪，所述傳動軸的端部設有利于旋轉(zhuǎn)其的旋擰部。
[0005]采用上述結(jié)構(gòu)后，與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型具有以下優(yōu)點:與原有的手工調(diào)整相比，通過旋擰傳動軸端部的旋擰部驅(qū)動傳動軸轉(zhuǎn)動，由于傳動軸的兩端設有與絲桿上第一錐齒輪相嚙合的第二錐齒輪，因此在傳動軸轉(zhuǎn)動時能夠帶動各絲桿同步轉(zhuǎn)動，又因絲桿和活動限位塊上的螺孔配合，因而在絲桿轉(zhuǎn)動時能夠帶動活動限位塊在水平方向上平移至合適位置，從而實現(xiàn)對V形槽下端的打磨口寬度的調(diào)節(jié)，以應對不同規(guī)格的硅晶棒，調(diào)節(jié)方便快捷，有效節(jié)省調(diào)整時間，提高工作效率。
[0006]作為改進，V形槽的上方設有用于將硅晶棒翻轉(zhuǎn)的翻轉(zhuǎn)機構(gòu)，所述翻轉(zhuǎn)機構(gòu)包括固定在機體上的支架、水平設置的第一活動板、驅(qū)動第一活動板上下移動的第一氣缸、兩相對設置的第二活動板、固定在所述第一活動板上的用于驅(qū)動兩第二活動板相向或相離運動的第二氣缸，所述第二氣缸為兩端均設有氣缸桿的雙軸氣缸，兩第二活動板內(nèi)側(cè)相對位置裝設有適于夾持硅晶棒的夾塊，各夾塊可繞自身軸線轉(zhuǎn)動，其中一夾塊由驅(qū)動電機驅(qū)動旋轉(zhuǎn)，這樣，打磨完成后通過翻轉(zhuǎn)機構(gòu)將硅晶棒翻轉(zhuǎn)90度再對下一棱角打磨，節(jié)省人工翻轉(zhuǎn)硅晶棒所需要消耗的人力和時間，有效提高工作效率。
[0007]作為改進，第一活動板上設有沿第二氣缸軸向設置的燕尾凸臺或/和燕尾槽，所述第二活動板的上端設有適于與所述燕尾凸臺或/和燕尾槽滑動配合的燕尾槽或/和燕尾凸臺，這樣，通過燕尾凸臺與燕尾槽的配合從而將第一活動板與第二活動板活動連接，所述第二活動板在受第二氣缸驅(qū)使移動的過程中，燕尾凸臺與對應的燕尾槽位置隨之發(fā)生相對移動，在翻轉(zhuǎn)硅晶棒時，硅晶棒的重量由第一活動板和第二氣缸的氣缸桿共同承擔，從而能夠避免僅由第二氣缸的氣缸桿承受硅晶棒重量時容易發(fā)生彎曲變形的問題，延長使用壽命。
[0008]作為改進，所述第二氣缸通過螺栓組件固定在第一活動板上，所述第一活動板上對應安裝第二氣缸的位置設有定位凸臺，所述第二氣缸上設有與所述定位凸臺配合的定位槽，這樣，將定位凸臺與定位槽配合后，能夠?qū)⒌诙飧卓焖俣ㄎ?，從而便于第二氣缸上的螺孔與第一活動板上的螺孔對齊，方便螺栓組件固定。
[0009]作為改進，螺栓組件包括緊固螺栓和與之配合的彈性墊片及力矩螺母，這樣一來就能夠?qū)⒌诙飧桌慰康墓潭ㄔ诘谝换顒影迳稀?br>[0010]作為改進，驅(qū)動組件外部設有罩殼，這樣，可以避免雜質(zhì)和油污進入對絲桿和傳動軸造成損壞，提尚設備的可靠性。
[0011]作為改進，旋擰部為外六角、內(nèi)六角或旋柄，這樣，可通過多種方式驅(qū)動傳動軸轉(zhuǎn)動，便于實現(xiàn)，同時方便實際使用。
【附圖說明】
[0012]圖1為本實用新型中硅晶棒倒角設備的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0013]圖2為本實用新型中驅(qū)動組件的透視圖。
[0014]圖3為本實用新型中，第二活動板與第一活動板連接時的左視圖。
[0015]圖中所示，1、機體，3、支架，5、第一活動板，6、第一氣缸，7、第二活動板，8、第二氣缸，9、夾塊，10、導向桿，11、燕尾槽，12、燕尾凸臺，13、螺栓組件，14、電機，15、打磨口，16、活動限位塊，17、固定限位塊，18、絲桿，19、傳動軸，20、第一錐齒輪，21、第二錐齒輪，22、旋擰部，23、罩殼。
【具體實施方式】
[0016]下面對本實用新型作進一步詳細的說明:
[0017]本實用新型提出一種便于調(diào)節(jié)的硅晶棒倒角設備，包括機體I，機體I內(nèi)設有打磨組件，機體I上設有兩塊限位塊，所述兩限位塊之間形成有適于對放置硅晶棒的V形槽，V形槽底部設有打磨口 15，所述機體I內(nèi)與所述打磨口 15對應的位置設有打磨組件，兩限位塊中的一個為固定限位塊17，另一個為活動限位塊16，所述機體I上設有帶動所述活動限位塊16在水平方向上靠近或遠離所述固定限位塊17的驅(qū)動組件，驅(qū)動組件包括設于機體I上的至少兩根水平且平行設置的絲桿18和一根傳動軸19，所述各絲桿18的一端與所述活動限位塊16上的螺孔配合，所述各絲桿18的另一端設有第一錐齒輪20，所述傳動軸19垂直于絲桿18設置，并在其上設有與所述第一錐齒輪20相嚙合的第二錐齒輪21，所述傳動軸19的端部設有利于旋轉(zhuǎn)其的旋擰部22。本實用新型與原有的手工調(diào)整相比，通過旋擰傳動軸19端部的旋擰部22驅(qū)動傳動軸19轉(zhuǎn)動，由于傳動軸19的兩端設有與絲桿18上第一錐齒輪20相嚙合