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包含倒四棱錐絨面結(jié)構(gòu)的單晶硅片及其應(yīng)用的制作方法

文檔序號(hào):12478864閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種包含倒四棱錐絨面結(jié)構(gòu)的單晶硅片,所述硅片表面隨機(jī)分布有倒四棱錐組,所述倒四棱錐組包括一種或多種高與底邊邊長(zhǎng)的比為0.7-6∶1的倒四棱錐。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶硅片,其特征在于,所述倒四棱錐組包括一種或多種高與底邊邊長(zhǎng)的比為1.2-4.4∶1的倒四棱錐。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的單晶硅片,其特征在于,所述倒四棱錐選自下列倒四棱錐中的一種或多種:

1)一種高與底邊邊長(zhǎng)的比為1.2-1.5∶1之間的倒四棱錐;

2)和/或一種高與底邊邊長(zhǎng)的比為1.9-2.3∶1之間的倒四棱錐;

3)和/或一種高與底邊邊長(zhǎng)的比為2.5-3.1∶1之間的倒四棱錐;

4)和/或一種高與底邊邊長(zhǎng)的比為3.2-3.7∶1之間的倒四棱錐;

5)和/或一種高與底邊邊長(zhǎng)的比為4.0-4.4∶1之間的倒四棱錐。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的單晶硅片,其特征在于,所述高與底邊邊長(zhǎng)的比在1.2-1.5∶1之間的倒四棱錐,其底邊邊長(zhǎng)在90nm-500nm之間。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的單晶硅片,其特征在于,所述高與底邊邊長(zhǎng)的比在1.9-2.3∶1之間的倒四棱錐,其底邊邊長(zhǎng)在80nm-500nm之間。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的單晶硅片,其特征在于,所述高與底邊邊長(zhǎng)的比在2.5-3.1∶1之間的倒四棱錐,其底邊邊長(zhǎng)在80nm-500nm之間。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的單晶硅片,其特征在于,所述高與底邊邊長(zhǎng)的比在3.2-3.7∶1之間的倒四棱錐,其底邊邊長(zhǎng)在60nm-500nm之間。

8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的單晶硅片,其特征在于,所述高與底邊邊長(zhǎng)的比在4.0-4.4∶1之間的倒四棱錐,其底邊邊長(zhǎng)在70nm-500nm之間。

9.一種權(quán)利要求1-8任一項(xiàng)所述包含倒四棱錐絨面結(jié)構(gòu)的單晶硅片的制備方法,其包括:

1)將單晶硅片放置于酸性制絨液中,在室溫下進(jìn)行蝕刻,清洗去除金屬離子;

2)將清洗后具有倒四棱錐絨面結(jié)構(gòu)的單晶硅片置于堿液中進(jìn)行結(jié)構(gòu)修飾,清洗即得。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的單晶硅片的制備方法,其特征在于,所述酸性制絨液中包含0.5-10mmol/L的銀離子、10-200mmol/L的銅離子、1-8mol/L的HF和0.1-8mol/L的H2O2。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的單晶硅片的制備方法,其特征在于,所述酸性制絨液中優(yōu)選包含1-10mmol/L的銀離子、20-180mmol/L的銅離子、2-6mol/L的HF和0.3-5mol/L的H2O2。

12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的單晶硅片的制備方法,其特征在于,銀離子和銅離子的摩爾比為1∶5-100。

13.根據(jù)權(quán)利要求10所述的單晶硅片的制備方法,其特征在于,銀離子和銅離子的摩爾比為1∶20-60。

14.根據(jù)權(quán)利要求9所述的單晶硅片的制備方法,其特征在于,所述堿液為含1-5%(重量)堿金屬及堿土金屬的氫氧化物的水溶液。

15.根據(jù)權(quán)利要求9-14任一項(xiàng)所述的單晶硅片的制備方法,其特征在于,其包括:

1)將單晶硅片放置于酸性制絨液中,在20℃~35℃下進(jìn)行蝕刻1~10分鐘,清洗去除硅片表面的金屬離子;

2)將清洗后具有倒四棱錐絨面結(jié)構(gòu)的單晶硅片置于堿液中,在20℃~30℃條件下進(jìn)行結(jié)構(gòu)修飾5-90s,清洗即得。

16.權(quán)利要求1-8任一項(xiàng)所述包含倒四棱錐絨面結(jié)構(gòu)的單晶硅片在太陽(yáng)能電池中的應(yīng)用。

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