帶狀部件的電解去毛刺方法和裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及能夠?qū)㈦娫粗苯邮┘佑谧鳛殡娊馊ッ虒?duì)象物的帶狀部件，能夠提高去毛刺效率的帶狀部件的電解去毛刺方法和裝置。該帶狀部件的電解去毛刺方法：使刷子狀電極與以浸漬在處理槽內(nèi)部的化學(xué)溶液中的狀態(tài)把持于環(huán)狀輸送帶而進(jìn)行輸送的帶狀零部件帶狀部件接觸而定位，從刷子狀電極直接施加電源，從而帶狀部件成為陰極，另外的不溶性導(dǎo)電體電極成為陽(yáng)極，通過(guò)在兩者之間施加電源，從帶狀部件的表面剝離毛刺。該帶狀部件的電解去毛刺裝置包括：把持于環(huán)狀輸送帶而進(jìn)行輸送的帶狀部件；以與所述帶狀部件接觸而帶狀部件成為陰極的方式設(shè)置的刷子狀電極；以在通電時(shí)成為陽(yáng)極的方式設(shè)置在與所述帶狀部件彼此分開的位置的另外的不溶性導(dǎo)電體電極。
【專利說(shuō)明】帶狀部件的電解去毛刺方法和裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及帶狀部件的電解去毛刺技術(shù)，特別是涉及能夠?qū)㈦娫粗苯邮┘佑陔娊馊ッ虒?duì)象物即半導(dǎo)體組件(package)等的帶狀部件,能夠提高去毛刺效率的帶狀部件的電解去毛刺方法和裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]通常，在半導(dǎo)體的制造工序中的利用樹脂成形進(jìn)行的密封過(guò)程后，對(duì)電鍍過(guò)程前欲進(jìn)行電鍍過(guò)程的部位和在電鍍過(guò)程后進(jìn)行了電鍍過(guò)程的部位進(jìn)行用于去除毛刺(Flash)的去毛刺(Deflash)過(guò)程。
[0003]在以往這樣的去毛刺過(guò)程中，大致依次執(zhí)行以下工序:使帶狀部件浸潰在化學(xué)溶液中一定時(shí)間的浸潰工序；對(duì)帶狀部件的表面進(jìn)行沖洗的沖洗工序；在使沖洗后的帶狀部件浸潰的狀態(tài)下進(jìn)行電解去毛刺而剝離.除去毛刺的電解去毛刺工序；對(duì)帶狀部件的表面再次進(jìn)行沖洗的沖洗工序；用于去除剩余的毛刺的噴水工序。
[0004]即依次進(jìn)行浸潰工序、沖洗工序、電解去毛刺工序、沖洗工序和噴水工序，但在這樣的以往方式的去毛刺過(guò)程中的電解去毛刺工序中，執(zhí)行如下所述的工序:在將沖洗后的帶狀部件浸潰到例如氫氧化鉀溶液的化學(xué)溶液的狀態(tài)下，將沖洗后的帶狀部件把持于通常由導(dǎo)體構(gòu)成的環(huán)狀輸送帶來(lái)進(jìn)行輸送的半導(dǎo)體組件構(gòu)成為，對(duì)環(huán)狀輸送帶施加電源，經(jīng)由這樣的環(huán)狀輸送帶而對(duì)半導(dǎo)體組件施加電源，由此，在半導(dǎo)體組件成為陰極、鈦和鉬等不溶性金屬成為陽(yáng)極的狀態(tài)下，施加電源，一邊從半導(dǎo)體組件的芯片搭載部位和引線框架的表面產(chǎn)生氫氣一邊對(duì)形成在半導(dǎo)體組件的表面的毛刺進(jìn)行剝離。
[0005]不過(guò)，這樣的以往的電解去毛刺工序方式在實(shí)際上應(yīng)用于多種形態(tài)的帶狀部件的情況下，經(jīng)由環(huán)狀輸送帶而對(duì)去毛刺對(duì)象物即半導(dǎo)體組件施加電源，由此，產(chǎn)生如下問(wèn)題。
[0006]第一，對(duì)連續(xù)地移動(dòng)的導(dǎo)電性金屬?gòu)椥泽w的環(huán)狀輸送帶施加電源，因此，工作中產(chǎn)生火花，對(duì)環(huán)狀輸送帶的表面帶來(lái)?yè)p傷，縮短環(huán)狀輸送帶的使用壽命，由此，產(chǎn)生了不經(jīng)濟(jì)的問(wèn)題。
[0007]第二，在作為用于去毛刺工序的對(duì)象物的帶狀部件的情況下，在材料的內(nèi)部存在不導(dǎo)電的陶瓷等物質(zhì)時(shí)，產(chǎn)生如下問(wèn)題:即使經(jīng)由環(huán)狀輸送帶施加電源，也無(wú)法對(duì)作為去毛刺對(duì)象物的帶狀部件在整個(gè)部位上均勻地進(jìn)行去毛刺工序，只以通電的部位為中心局部地進(jìn)行。
[0008]第三，不直接對(duì)作為用于去毛刺工序的對(duì)象物的帶狀部件施加電源，而是暫且經(jīng)由環(huán)狀輸送帶對(duì)作為去毛刺對(duì)象物的帶狀部件間接地施加電源，由此所產(chǎn)生的不合理的問(wèn)題是，無(wú)法干凈地剝離毛刺而造成產(chǎn)品的不合格率變高，結(jié)果，為了使這樣的不合格率降低，也只能反復(fù)多次進(jìn)行去毛刺作業(yè)直到達(dá)到去毛刺工序所要求的品質(zhì)，所以產(chǎn)生作業(yè)上的效率不高的情況，不僅生產(chǎn)率降低，而且?guī)?lái)制造成本的上升的問(wèn)題。

【發(fā)明內(nèi)容】
[0009]本發(fā)明是為了解決這樣的以往的問(wèn)題而研究開發(fā)的，具有如下目的。
[0010]本發(fā)明的目的在于，能夠?qū)ψ鳛橛糜谌ッ坦ば虻膶?duì)象物的帶狀部件直接施加電源，能夠干凈地剝離毛刺，在降低產(chǎn)品的不合格率的同時(shí)，容易達(dá)到去毛刺工序所要求的品質(zhì)，不僅提高生產(chǎn)率，也使制造成本降低，提高產(chǎn)品的競(jìng)爭(zhēng)力。
[0011]本發(fā)明的另一目的在于，在作為用于去毛刺工序的對(duì)象物的帶狀部件的情況下，在材料的內(nèi)部存在不導(dǎo)電的陶瓷等物質(zhì)時(shí)，對(duì)作為去毛刺對(duì)象物的帶狀部件的整個(gè)部位均勻且順暢地進(jìn)行去毛刺工序。
[0012]本發(fā)明的另一目的在于，即使不對(duì)如現(xiàn)存的那樣連續(xù)地移動(dòng)的導(dǎo)電性金屬?gòu)椥泽w的環(huán)狀輸送帶施加電源，也能夠?qū)ψ鳛槿ッ虒?duì)象物的帶狀部件直接施加電源，不對(duì)工作中環(huán)狀輸送帶產(chǎn)生不良影響，通過(guò)延長(zhǎng)環(huán)狀輸送帶的使用壽命而便宜靈活地應(yīng)用。
[0013]本發(fā)明為了達(dá)到上述目的，提供一種帶狀部件的電解去毛刺方法，其是在半導(dǎo)體的制造工序中的利用樹脂成形進(jìn)行的密封工序后為了于電鍍工序的前后剝離被殘留在帶狀部件的密封部和引線部的毛刺而進(jìn)行的電解去毛刺方法，其特征在于，如下所述這樣執(zhí)行工序:使刷子狀電極與以浸潰在處理槽內(nèi)部的化學(xué)溶液的狀態(tài)把持于環(huán)狀輸送帶而進(jìn)行輸送的帶狀部件接觸而進(jìn)行定位；通過(guò)從刷子狀電極直接施加電源，使所述帶狀部件成為陰極，使浸潰在所述處理槽內(nèi)部的化學(xué)溶液中的另外的不溶性導(dǎo)電體電極成為陽(yáng)極；通過(guò)在所述陰極的刷子狀電極與所述陽(yáng)極的不溶性導(dǎo)電體電極之間施加電源，從以把持于環(huán)狀輸送帶的狀態(tài)進(jìn)行輸送的帶狀部件的表面剝離毛刺。
[0014]另外，提供一種帶狀部件的電解去毛刺裝置，其是在半導(dǎo)體的制造工序中的利用樹脂成形進(jìn)行的密封工序后為了于電鍍工序的前后剝離被殘留在帶狀部件的密封部和引線部的毛刺的電解去毛刺裝置，其特征在于，該帶狀部件的電解去毛刺裝置包括:以浸潰在處理槽內(nèi)部的化學(xué)溶液中的狀態(tài)把持于環(huán)狀輸送帶而進(jìn)行輸送的帶狀部件；以與所述帶狀部件接觸而使所述帶狀部件成為陰極的方式設(shè)置的刷子狀電極；浸潰在所述處理槽內(nèi)部的化學(xué)溶液中并以在通電時(shí)成為陽(yáng)極的方式設(shè)置在與所述帶狀部件彼此分開的位置的另外的不溶性導(dǎo)電體電極。
[0015]采用本發(fā)明，能夠?qū)ψ鳛橛糜陔娊馊ッ坦ば虻膶?duì)象物的帶狀部件直接施加電源，干凈地進(jìn)行毛刺的剝離，降低產(chǎn)品的不合格率并容易達(dá)到電解去毛刺工序所要求的品質(zhì)，不僅提高生產(chǎn)率，也降低制造成本，從而能夠提高產(chǎn)品的競(jìng)爭(zhēng)力，另外，作為用于電解去毛刺工序的對(duì)象物的帶狀部件的情況下，在材料的內(nèi)部存在不導(dǎo)電的陶瓷等物質(zhì)時(shí)，也能夠?qū)ψ鳛殡娊馊ッ虒?duì)象物的帶狀部件在整個(gè)部位均勻且順暢地進(jìn)行電解去毛刺工序。另外，即使不對(duì)如現(xiàn)存的那樣連續(xù)地移動(dòng)的導(dǎo)電性金屬?gòu)椥泽w的環(huán)狀輸送帶施加電源，也能夠?qū)ψ鳛殡娊馊ッ虒?duì)象物的帶狀部件直接施加電源，不對(duì)工作中環(huán)狀輸送帶產(chǎn)生不良影響，使環(huán)狀輸送帶的使用壽命延長(zhǎng)，從而能夠便宜靈活地運(yùn)用。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0016]圖1是表示本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例的局部省略的主視圖。
[0017]圖2是圖1的俯視例示圖。
[0018]圖3是圖1的側(cè)視例示圖。
[0019]圖4是以本發(fā)明中使用的刷子電極單元為中心表示的放大主視圖。[0020]圖5是圖4的俯視圖。[0021]圖6是圖4的側(cè)視圖。
[0022]圖7是作為本發(fā)明的變形例而與圖1相對(duì)應(yīng)地表示的主視圖。
[0023]圖8是作為本發(fā)明的另一變形例而與圖1相對(duì)應(yīng)地表示的主視圖。
[0024]圖9是圖7或者圖8的側(cè)視圖。
[0025]圖10是作為本發(fā)明的又一變形例而與圖1相對(duì)應(yīng)地表示的主視圖。
[0026]圖11是圖10的側(cè)視圖。
[0027]圖12是作為本發(fā)明的再一變形例而與圖1相對(duì)應(yīng)地表示的主視圖。
[0028]附圖標(biāo)記
[0029]1、帶狀部件
[0030]2、處理槽
[0031]3、化學(xué)溶液
[0032]4、環(huán)狀輸送帶
[0033]5、刷子狀電極
[0034]6、刷子電極單元
[0035]7、不溶性導(dǎo)電體電極
[0036]8、固定構(gòu)造體
[0037]9、支承框架
[0038]50、端子臺(tái)
[0039]52、連結(jié)孔
[0040]54、墊圈
[0041]56、連結(jié)件
[0042]60、刷子電極
[0043]60a、電線
[0044]62、端子
[0045]62a、電線
[0046]62b、設(shè)置孔
[0047]62c、彎曲部
【具體實(shí)施方式】
[0048]下面，參照附圖對(duì)本發(fā)明進(jìn)行更具體且詳細(xì)地說(shuō)明。
[0049]如圖所示，本發(fā)明所涉及的帶狀部件的電解去毛刺裝置的適用例，在半導(dǎo)體的制造工序中的利用樹脂成形進(jìn)行的密封工序后為了于電鍍工序的前后剝離被殘留在帶狀部件I的密封部和引線部的毛刺的電解去毛刺裝置中，包括:以浸潰于處理槽2內(nèi)部的化學(xué)溶液3的狀態(tài)把持于環(huán)狀輸送帶4來(lái)進(jìn)行輸送的帶狀部件I ;以與帶狀部件I接觸而帶狀部件I成為陰極的方式設(shè)置的刷子狀電極5 ;浸潰于所述處理槽2內(nèi)部的化學(xué)溶液3并以在通電時(shí)成為陽(yáng)極的方式設(shè)置在與所述帶狀部件I彼此分開的位置的另外的不溶性導(dǎo)電體電極7。
[0050]此時(shí)，所述刷子狀電極5由單一的刷子電極單元6構(gòu)成，或者以將多個(gè)刷子電極單元6集合的形態(tài)構(gòu)成。作為上述構(gòu)成的共同點(diǎn)，所述刷子電極單元6是將刷子電極60和固定于所述刷子電極60的端子62彼此結(jié)合而構(gòu)成的。
[0051]另外，所述刷子電極60構(gòu)成為，將多根電線60a集束，一側(cè)以所述端子62的電線固定部62a圍繞的狀態(tài)而彼此集合地固定，作為另一側(cè)的所述一側(cè)的相對(duì)側(cè)以自由端形態(tài)延伸地構(gòu)成，從而在設(shè)置后，所述刷子電極60與所述帶狀部件I的表面彼此接觸而能夠連接電源。所述端子62構(gòu)成為，在與所述電線固定部62a分開的位置設(shè)置有設(shè)置孔62b，以使所述端子62與端子臺(tái)50能夠連結(jié)固定，在所述電線固定部62a和所述設(shè)置孔62b之間設(shè)置有彎曲部62c以使電線60a具有設(shè)置角度。
[0052]此時(shí)，所述端子臺(tái)50通過(guò)設(shè)置在處理槽2的相鄰位置的固定構(gòu)造體8和支承框架9固定設(shè)置。
[0053]此時(shí)，所述電線60a具有不與化學(xué)溶液3反應(yīng)的耐腐蝕性，使用不銹鋼材料來(lái)形成為能夠與帶狀部件I彼此彈性接觸的方式。另外，優(yōu)選所述電線60a構(gòu)成為，所輸送的帶狀部件I和所述電線60a以沉積于化學(xué)溶液3的狀態(tài)彈性地彼此加圧.接觸而通電，并且也能夠維持在帶狀部件I的表面不產(chǎn)生劃痕那樣柔和的狀態(tài)，實(shí)際上進(jìn)行了長(zhǎng)時(shí)間實(shí)驗(yàn)的結(jié)果，為了滿足上述較多條件，優(yōu)選所述電線60a的數(shù)量為50根~70根，最優(yōu)選所述電線60a的直徑為0.05mm以下。
[0054]另外，將所述刷子電極單元6設(shè)置在端子臺(tái)50上的方式如下所述:例如，使預(yù)先形成于端子臺(tái)50上的連結(jié)孔52與所述端子62的設(shè)置孔62b在彼此一致的狀態(tài)下，利用墊圈54和連結(jié)件56彼此連結(jié)固定即可，優(yōu)選所述彎曲部62c構(gòu)成為，如圖1所示的那樣從正面觀察時(shí)，電線60a與由環(huán)狀輸送帶4進(jìn)行輸送的帶狀部件I的水平輸送方向呈銳角，并且如圖3所示的那樣從側(cè)面觀察時(shí)，電線60a呈鈍角傾斜而彎曲的形態(tài)以便充分地長(zhǎng)達(dá)帶狀部件I的表面。
[0055]另外，所述刷子狀電極5以在端子臺(tái)50上設(shè)置并集合多個(gè)刷子電極單元6的形態(tài)構(gòu)成的情況下，如圖1至圖3所例示那樣，各個(gè)刷子電極單元6構(gòu)成為，選擇具有電線60a的長(zhǎng)度相同的刷子電極60的刷子電極單元6，或者如圖7至圖11所例示那樣構(gòu)成為，選擇具有電線60a的長(zhǎng)度不同的刷子電極60的刷子電極單元6，在用于執(zhí)行電解去毛刺工序的帶狀部件I的表面的整個(gè)部位均勻地進(jìn)行電連接，另外，優(yōu)選在帶狀部件I的表面的較多的部位同時(shí)進(jìn)行電連接。
[0056]另外，欲進(jìn)行電解去毛刺工序的帶狀部件I的形態(tài)具有多種多樣的構(gòu)造，出于根據(jù)以非絕緣狀態(tài)與引線框架進(jìn)行連接的形態(tài)，或者以絕緣狀態(tài)進(jìn)行連接的形態(tài)等多樣的形態(tài)而適當(dāng)?shù)仂`活運(yùn)用的目的，如所述那樣能夠?qū)㈦娋€60a的長(zhǎng)度構(gòu)成為相同或者互不相同。
[0057]特別是，能夠如圖7至圖12所例示那樣選擇具有電線60a的長(zhǎng)度不同的刷子電極60的刷子電極單元6，，但是也能夠使其配置順序不同地構(gòu)成為，例如圖7所例示那樣，使電線60a從最短的形態(tài)到最長(zhǎng)的形態(tài)反復(fù)地配置；或者如圖8所例示那樣，使電線60a從最短的形態(tài)經(jīng)由最長(zhǎng)的形態(tài)之后，再次反復(fù)以短的形態(tài)配置；或者如圖10和圖11所示那樣，使電線60a以短的形態(tài)和長(zhǎng)的形態(tài)反復(fù)配置；或者如圖12所示那樣，使電線60a以短的形態(tài)和長(zhǎng)的形態(tài)雜亂地配置。
[0058]即由于這樣欲進(jìn)行電解去毛刺工序的帶狀部件I的多樣的形態(tài)使電線60a的長(zhǎng)度不同而以多種多樣的形態(tài)配置，或者以即使電線60a的長(zhǎng)度相同，也能夠使電線60a的設(shè)置數(shù)量和設(shè)置間隔等多樣地配置的方式多樣地變更而靈活運(yùn)用，這樣的多樣的變更內(nèi)容也包含在本發(fā)明的基本思想中，結(jié)果，屬于后述的權(quán)利要求書的范疇是顯而易見的。
[0059]下面，基于本發(fā)明的帶狀部件的電解去毛刺方法更詳細(xì)地說(shuō)明如上述那樣構(gòu)成的本發(fā)明的帶狀部件的電解去毛刺裝置的工作過(guò)程。
[0060]即作為本發(fā)明的帶狀部件的電解去毛刺方法，在半導(dǎo)體的制造工序中的利用樹脂成形進(jìn)行的密封工序后為了于電鍍工序的前后剝離被殘留在帶狀部件I的密封部和引線部的毛刺而進(jìn)行的電解去毛刺方法中，如下所述這樣執(zhí)行帶狀部件的電解去毛刺方法:使刷子狀電極5與以浸潰在處理槽2內(nèi)部的化學(xué)溶液3中的狀態(tài)把持于環(huán)狀輸送帶4而進(jìn)行輸送的帶狀部件I接觸而定位，從刷子狀電極5直接施加電源，從而帶狀部件I成為陰極，浸潰在所述處理槽2內(nèi)部的化學(xué)溶液3的另外的不溶性導(dǎo)電體電極7成為陽(yáng)極，通過(guò)在所述陰極的刷子狀電極5與所述陽(yáng)極的不溶性導(dǎo)電體電極7之間施加電源，從以把持在環(huán)狀輸送帶4的狀態(tài)進(jìn)行輸送的帶狀部件I的表面剝離毛刺。
[0061]下面，分階段地更詳細(xì)地說(shuō)明帶狀部件I的電解去毛刺工序。
[0062]準(zhǔn)各工序 [0063]其為在進(jìn)行電解去毛刺工序之前的準(zhǔn)備工序，首先，預(yù)先將化學(xué)溶液3填充到處理槽2的內(nèi)部至一定水位，加載并定位欲進(jìn)行電解去毛刺工序的帶狀部件1，使其以浸潰在化學(xué)溶液3的狀態(tài)把持于環(huán)狀輸送帶4而進(jìn)行輸送，使刷子狀電極5與帶狀部件I接觸而進(jìn)行定位，另外，以浸潰在所述處理槽2內(nèi)部的化學(xué)溶液3的狀態(tài)配置另外的不溶性導(dǎo)電體電極7。
[0064]電解去毛刺工序
[0065]如所述那樣在準(zhǔn)備工序中進(jìn)行用于電解去毛刺的準(zhǔn)備時(shí)，開始工作而進(jìn)行環(huán)狀輸送帶4的輸送工作，也對(duì)刷子狀電極5和不溶性導(dǎo)電體電極7分別施加電源，從而進(jìn)行電解去毛刺工序，此時(shí)，如下所述這樣執(zhí)行去毛刺工序:刷子狀電極5與以浸潰在處理槽2內(nèi)部的化學(xué)溶液3的狀態(tài)把持于環(huán)狀輸送帶4而進(jìn)行輸送的帶狀部件I的表面接觸，從刷子狀電極5直接施加電源，從而帶狀部件I成為陰極，浸潰在所述處理槽2內(nèi)部的化學(xué)溶液3的另外的不溶性導(dǎo)電體電極7成為陽(yáng)極，對(duì)所述陰極的刷子狀電極5與所述陽(yáng)極的不溶性導(dǎo)電體電極7之間的化學(xué)溶液3施加電源的同時(shí)對(duì)形成在以把持于所述環(huán)狀輸送帶4的狀態(tài)進(jìn)行輸送的帶狀部件I的表面的毛刺進(jìn)行剝離。
[0066]此時(shí)，在以對(duì)帶狀部件I的表面直接施加電源的方式構(gòu)成刷子狀電極5的各刷子電極單元6中，刷子電極60的多根電線60a直接與帶狀部件I的表面接觸，帶狀部件I被環(huán)狀輸送帶4輸送的同時(shí)刷子電極60的多根電線60a與帶狀部件I的整個(gè)表面部位均勻地彈性抵接而進(jìn)行通電，特別是，刷子電極60的電線60a中的與帶狀部件I的表面抵接的部分也以沉積在化學(xué)溶液中的狀態(tài)同維持被沉積在化學(xué)溶液3中的狀態(tài)的帶狀部件I的表面接觸，電源的通電更順暢。帶狀部件I的形態(tài)具有多樣的構(gòu)造，無(wú)論是以絕緣狀態(tài)與引線框架進(jìn)行連接還是以非絕緣狀態(tài)與引線框架進(jìn)行連接，能夠進(jìn)行順暢的電連接，有效地進(jìn)行對(duì)帶狀部件I的表面剝離毛刺的電解去毛刺工作。
[0067]當(dāng)然，如所述那樣進(jìn)行電解去毛刺工序之后，能夠依次進(jìn)行處于待機(jī)中的接下來(lái)必須的處理工序。[0068]因而，采用本發(fā)明，能夠?qū)ψ鳛橛糜陔娊馊ッ坦ば虻膶?duì)象物的帶狀部件I直接施加電源，干凈地進(jìn)行毛刺的剝離，在降低產(chǎn)品的不合格率的同時(shí)容易達(dá)到電解去毛刺工序所要求的品質(zhì)，不僅提高生產(chǎn)率，也降低制造成本，從而能夠提高產(chǎn)品的競(jìng)爭(zhēng)力，另外，作為用于電解去毛刺工序的對(duì)象物的帶狀部件I的情況下，在材料的內(nèi)部存在不導(dǎo)電的陶瓷等物質(zhì)時(shí)，也能夠?qū)ψ鳛殡娊馊ッ虒?duì)象物的帶狀部件I的整個(gè)部位均勻且順暢地進(jìn)行電解去毛刺工序。另外，即使不對(duì)如現(xiàn)存的那樣連續(xù)地移動(dòng)的導(dǎo)電性金屬?gòu)椥泽w的環(huán)狀輸送帶4施加電源，也能夠?qū)ψ鳛殡娊馊ッ虒?duì)象物的帶狀部件I直接施加電源，不對(duì)工作中環(huán)狀輸送帶4產(chǎn)生不良影響，使環(huán)狀輸送帶4的`使用壽命延長(zhǎng)，從而能夠便宜靈活地運(yùn)用。
【權(quán)利要求】
1.一種帶狀部件的電解去毛刺方法，該帶狀部件的電解去毛刺方法是在半導(dǎo)體的制造工序中的利用樹脂成形進(jìn)行的密封工序后為了于電鍍工序的前后剝離被殘留在帶狀部件(I)的密封部和引線部的毛刺而進(jìn)行的電解去毛刺方法，其特征在于， 如下所述這樣的執(zhí)行工序: 使刷子狀電極(5)與以浸潰在處理槽(2)內(nèi)部的化學(xué)溶液(3)的狀態(tài)把持于環(huán)狀輸送帶(4)而進(jìn)行輸送的帶狀部件(I)接觸而進(jìn)行定位； 通過(guò)從刷子狀電極(5 )直接施加電源，使所述帶狀部件(I)成為陰極，使浸潰在所述處理槽(2)內(nèi)部的化學(xué)溶液(3)中的另外的不溶性導(dǎo)電體電極(7)成為陽(yáng)極； 通過(guò)在所述陰極的刷子狀電極(5)與所述陽(yáng)極的不溶性導(dǎo)電體電極(7)之間施加電源，從以把持于環(huán)狀輸送帶(4)的狀態(tài)進(jìn)行輸送的帶狀部件(I)的表面剝離毛刺。
2.一種帶狀部件的電解去毛刺裝置，該帶狀部件的電解去毛刺裝置是在半導(dǎo)體的制造工序中的利用樹脂成形進(jìn)行的密封工序后為了于電鍍工序的前后剝離被殘留在帶狀部件(I)的密封部和引線部的毛刺的電解去毛刺裝置，其特征在于， 該帶狀部件的電解去毛刺裝置包括: 以浸潰在處理槽(2)內(nèi)部的化學(xué)溶液(3)中的狀態(tài)把持于環(huán)狀輸送帶(4)而進(jìn)行輸送的帶狀部件(I); 以與所述帶狀部件(I)接觸而使所述帶狀部件(I)成為陰極的方式設(shè)置的刷子狀電極(5)；· 浸潰在所述處理槽(2)內(nèi)部的化學(xué)溶液(3)中并以在通電時(shí)成為陽(yáng)極的方式設(shè)置在與所述帶狀部件(I)彼此分開的位置的另外的不溶性導(dǎo)電體電極(7)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的帶狀部件的電解去毛刺裝置，其特征在于， 所述刷子狀電極(5)包括刷子電極單元(6)， 所述刷子電極單元(6)是將刷子電極(60)和固定于所述刷子電極(60)的端子(62)彼此結(jié)合而構(gòu)成的。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的帶狀部件的電解去毛刺裝置，其特征在于， 所述刷子電極(60)構(gòu)成為，將多根電線(60a)集束，以一側(cè)通過(guò)所述端子(62)的電線固定部(62a)以圍繞的狀態(tài)彼此集合并固定，作為另一側(cè)的所述一側(cè)的相對(duì)側(cè)構(gòu)成為以自由端形態(tài)延伸，所述刷子電極(60)能夠與所述帶狀部件(I)的表面彼此接觸而進(jìn)行電源的連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的帶狀部件的電解去毛刺裝置，其特征在于， 所述端子(62)構(gòu)成為，在與所述電線固定部(62a)分開的位置設(shè)有設(shè)置孔(62b)，使所述端子(62)能夠與端子臺(tái)(50)連結(jié)固定， 在所述電線固定部(62a)與所述設(shè)置孔(62b)之間設(shè)置有彎曲部(62c)，使電線(60a)具有設(shè)置角度。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的帶狀部件的電解去毛刺裝置，其特征在于， 所述電線(60a)具有與化學(xué)溶液(3)不反應(yīng)的耐腐蝕性，使用不銹鋼材料形成為與所述帶狀部件(I)彼此彈性接觸的方式。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的帶狀部件的電解去毛刺裝置，其特征在于， 構(gòu)成所述刷子電極(60)的電線(60a)的數(shù)量為50根~70根。
8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的帶狀部件的電解去毛刺裝置，其特征在于， 構(gòu)成所述刷子電極(60)的所述電線(60a)的直徑為0.05mm以下。
9.根據(jù)權(quán)利要求3所述的帶狀部件的電解去毛刺裝置，其特征在于， 所述刷子電極單元(6)設(shè)置于端子臺(tái)(50)， 所述端子臺(tái)(50)的連結(jié)孔(52)和所述端子(62)的設(shè)置孔(62b)在彼此一致的狀態(tài)下，利用墊圈(54)和連結(jié)件(56)彼此連結(jié)固定地構(gòu)成。
10.根據(jù)權(quán)利要求5所述的帶狀部件的電解去毛刺裝置，其特征在于， 所述彎曲部(62c)構(gòu)成為，在從正面觀察時(shí)，電線(60a)與由環(huán)狀輸送帶(4)進(jìn)行輸送的帶狀部件(I)的水平輸送方向呈銳角。
11.根據(jù)權(quán)利要求5所述的帶狀部件的電解去毛刺裝置，其特征在于， 所述彎曲部(62c)構(gòu)成為，從側(cè)面觀察時(shí)，電線(60a)呈以鈍角傾斜并彎曲的形態(tài)以便充分地長(zhǎng)達(dá)帶狀部件(I)的表面。
12.根據(jù)權(quán)利要求2所述的帶狀部件的電解去毛刺裝置，其特征在于， 所述刷子狀電極(5)以在端子臺(tái)(50)上設(shè)置并集合多個(gè)刷子電極單元(6)的形態(tài)構(gòu)成， 所述各個(gè)刷子電極單元(6)分別選擇具有電線(60a)的長(zhǎng)度彼此相同的刷子電極(60)的刷子電極單元(6)而構(gòu)成。
13.根據(jù)權(quán)利要求2所述的帶狀部件的電解去毛刺裝置，其特征在于， 所述刷子狀電極(5)以在端子臺(tái)(50)上設(shè)置并集合多個(gè)刷子電極單元(6)的形態(tài)構(gòu)成， 所述各個(gè)刷子電極單元(6)分別選擇具有電線(60a)的長(zhǎng)度不同的刷子電極(60)的刷子電極單元(6)而構(gòu)成。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的帶狀部件的電解去毛刺裝置，其特征在于， 選擇具有使所述電線(60a)的長(zhǎng)度不同的刷子電極(60)的刷子電極單元(6)并使配置順序不同地構(gòu)成。
【文檔編號(hào)】C25F7/00GK103572361SQ201210361262
【公開日】2014年2月12日 申請(qǐng)日期:2012年9月25日 優(yōu)先權(quán)日:2012年7月26日
【發(fā)明者】鄭載松, 崔棋烈, 田駿培 申請(qǐng)人:亞斯杰特股份有限公司