技術(shù)編號：9842696
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種抗硅抗硫中毒的熱線型甲烷傳感器的制作，針對的是含硅含硫的工業(yè)現(xiàn)場甲烷氣體的檢測，屬于摻雜的SnO2體電阻控制型半導(dǎo)體氣體傳感器的一種。背景技術(shù)金屬氧化物半導(dǎo)體氣體傳感器(MetalOxide Semiconductor gas sensor，M0S)的檢測原理是在一定條件(溫度)下，被測氣體到達半導(dǎo)體表面，與吸附在半導(dǎo)體表面的氧，發(fā)生化學(xué)反應(yīng)的過程中伴隨電荷轉(zhuǎn)移，引起半導(dǎo)體電阻的變化，通過測量半導(dǎo)體電阻的變化實現(xiàn)對氣體的檢測。甲烷是特別穩(wěn)定的...
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