技術(shù)編號：9812596
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。 面對全球能源危機，太陽能光伏發(fā)電技術(shù)已經(jīng)成為半導(dǎo)體行業(yè)的新的發(fā)展熱點。 晶娃太陽能電池制造分為制絨/清洗、擴散、刻蝕/后清洗、PECVD鍛膜、絲網(wǎng)印刷、燒結(jié)、測試 分選等工序。 對于晶體娃太陽能電池管式PECVD(等離子增強化學(xué)氣相沉積技術(shù))氮化娃薄膜沉 積技術(shù)，采用氨氣和硅烷作為等離子反應(yīng)氣體源，采用石墨舟片做為娃片的承載板和射頻 電極，常規(guī)的PECVD工藝運行一舟需要31min左右，產(chǎn)量較低，隨著前道工序產(chǎn)能的提升， PECVD工序成為產(chǎn)能瓶頸，必須...
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