技術(shù)編號(hào)：9810557
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。 劃片槽結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)是在掩膜板設(shè)計(jì)業(yè)務(wù)中繼產(chǎn)品設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)輸入檢查之后，EB處理和 掩模板制作之前所進(jìn)行的設(shè)計(jì)，其中EB處理為層演算生成用于掩模板制作的數(shù)據(jù)。主要是 根據(jù)掩模板的尺寸規(guī)格按照芯片的尺寸進(jìn)行切割線的版圖排列設(shè)計(jì)，同時(shí)切割線上放置制 品工程所需的各種光刻對(duì)準(zhǔn)和測(cè)試用的圖形，最后生成掩膜板制作前的最終版圖數(shù)據(jù)。 隨著掩膜板設(shè)計(jì)業(yè)務(wù)中涉及到的工藝不斷增多，檢查劃片槽數(shù)據(jù)中的對(duì)準(zhǔn)測(cè)試標(biāo) 記是否放置完整以及滿足放置要求等工作也隨之變得更加復(fù)雜和易于出錯(cuò)。每一層...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。
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