技術(shù)編號(hào)：9802264
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。微機(jī)電系統(tǒng)(Micro Electro Mechanical System, MEMS)是近年來高速發(fā)展的一項(xiàng)高新技術(shù)，采用先進(jìn)的半導(dǎo)體工藝技術(shù)，將整個(gè)機(jī)械結(jié)構(gòu)形成在一塊芯片中，其在體積、重量、價(jià)格和功耗上具有十分明顯的優(yōu)勢(shì)。其中，MEMS傳感器因其體積小、成本低、集成性能高等優(yōu)點(diǎn)，被廣泛應(yīng)用于智能手機(jī)、平板電腦等智能終端中。隨著市場(chǎng)的不斷發(fā)展，對(duì)更加便攜和輕薄的智能終端的需求日益迫切，因此，更加小型化的MEMS傳感器，已成為現(xiàn)今科研人員關(guān)注的焦點(diǎn)之一。發(fā)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。