技術編號:9756837
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。現有的靜電電容型觸摸面板由金屬膜、絕緣膜、透明電極膜等構成,檢測出指尖的靜電電容,從而通過x、Y坐標檢測出接觸了面板內的哪個位置。上述金屬膜、絕緣膜以及透明電極膜的圖形化如以下那樣進行。在對各膜進行成膜并且在膜上涂覆有光致抗蝕劑之后,進行曝光以及顯影從而形成光致抗蝕劑的圖案。將該圖形化的光致抗蝕劑作為掩膜對各膜進行蝕刻(例如,參照專利文獻I)。專利文獻1日本特開2011 —197754號公報但是,上述現有的需要向成為圖形化的對象的膜涂敷光致抗蝕劑的涂覆工序...
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