技術(shù)編號(hào)：9728713
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及多孔硅材料，尤其涉及。背景技術(shù)多孔娃最先是UhirS于1956年在貝爾實(shí)驗(yàn)室制備的，他們?cè)谔剿魍奁碾娀瘜W(xué)拋光工藝時(shí)，意外地在經(jīng)過電化學(xué)處理的單晶硅表面觀察到一種無光澤的黑色、棕色或紅色的薄膜，并對(duì)其微結(jié)構(gòu)和電學(xué)性質(zhì)做了大量的研究，但對(duì)其光學(xué)性質(zhì)研究不夠。1958年，同一實(shí)驗(yàn)室的Turnerlvl在論文中詳細(xì)論述了這種薄膜的形成條件、材料成分和諸多性質(zhì)，但他們認(rèn)為這種薄膜只是一種硅納米結(jié)構(gòu)，并沒有發(fā)現(xiàn)這種材料結(jié)構(gòu)上的多孔性。直到1971年Wata...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。