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制備納米結(jié)構(gòu)和納米結(jié)構(gòu)化制品的方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:9672132

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已發(fā)現(xiàn)納米結(jié)構(gòu)賦予制品的表面可用的性質(zhì)。這些可用的性質(zhì)包括可用的光學(xué) 性質(zhì),諸如例如塑性基底的反射減少;可用的機械性質(zhì),諸如例如用于改善粘附性的表面改 性;以及可用的結(jié)構(gòu)性質(zhì),用于在可用于例如藥物遞送的表面上形成特征。 已使用多種方法來在非(共)聚合物基底的表面上產(chǎn)生納米結(jié)構(gòu)。例如,等離子 體蝕刻是可用的方法,其已用于生成納米結(jié)構(gòu)。一種特定類型的等離子體蝕刻,反應(yīng)離子蝕 刻(RIE),已廣泛用于半導(dǎo)體工業(yè)中以在可用于電子器件的硅基底上產(chǎn)生亞微米特征。最 ...
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