技術(shù)編號：9658525
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。在低溫多晶娃(LowTemperature Poly-silicon,LTPS)工藝流程中，常使用 0.4T與0.3T的玻璃，由于玻璃的厚度很小，在濕法剝離機的制程過程中易發(fā)生破片。在生產(chǎn)過程中若破片經(jīng)常發(fā)生，會嚴(yán)重影響設(shè)備的正常運行時間并拉低產(chǎn)品良率，增加制造成本。因此如何降低破片率，是濕法剝離機改善的重點。目前濕法剝離機采用的玻璃傳送方式為用滾輪承載玻璃，并通過軸的轉(zhuǎn)動帶動滾輪從而使玻璃前進或后退。由于滾輪與玻璃的接觸面積小，以及玻璃在傳送過程中易與定...
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