技術編號：9609650
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。隨著電子工業(yè)的發(fā)展，超純硫酸的研制和生產亦快速發(fā)展。超純硫酸主要用于硅晶片的清洗、光刻、印刷電路板的腐蝕和清洗。超純硫酸一般采用蒸餾工藝生產，此工藝不能實現(xiàn)大規(guī)模生產，環(huán)境污染大和生產危險度高。另一種方法是三氧化硫直接吸收工藝，該工藝目前我國尚無先例。為解決上述問題，特研發(fā)出一種超純硫酸量產系統(tǒng)。發(fā)明內容本發(fā)明的目的是提供一種超純硫酸量產系統(tǒng)。本發(fā)明的技術方案為一種超純硫酸量產系統(tǒng)，由吸收塔、酸冷器、S02脫析罐、緩沖罐、雙氧水儲罐、循環(huán)罐、超純水制備機和...
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