超純硫酸量產(chǎn)系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及化工技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種超純硫酸量產(chǎn)系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著電子工業(yè)的發(fā)展，超純硫酸的研制和生產(chǎn)亦快速發(fā)展。超純硫酸主要用于硅晶片的清洗、光刻、印刷電路板的腐蝕和清洗。超純硫酸一般采用蒸餾工藝生產(chǎn)，此工藝不能實現(xiàn)大規(guī)模生產(chǎn)，環(huán)境污染大和生產(chǎn)危險度高。另一種方法是:三氧化硫直接吸收工藝，該工藝目前我國尚無先例。為解決上述問題，特研發(fā)出一種超純硫酸量產(chǎn)系統(tǒng)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的是提供一種超純硫酸量產(chǎn)系統(tǒng)。
[0004]本發(fā)明的技術(shù)方案為:一種超純硫酸量產(chǎn)系統(tǒng)，由吸收塔、酸冷器、S02脫析罐、緩沖罐、雙氧水儲罐、循環(huán)罐、超純水制備機和超純酸儲罐組成，所述吸收塔的上端分別通過管路與酸冷器和S02脫析罐連通，所述吸收塔的底端通過管路與循環(huán)罐連通，所述吸收塔上設(shè)有去風(fēng)機進口和三氧化硫進口，所述去風(fēng)機進口位于吸收塔的頂端，所述三氧化硫進口位于吸收塔的底端，所述酸冷器的底端通過管路與循環(huán)罐連通，所述酸冷器與循環(huán)罐之間的管路上設(shè)有第一循環(huán)泵，所述循環(huán)罐分別與雙氧水儲罐和超純水制備機通過管路連通，所述循環(huán)罐與雙氧水儲罐之間的管路上設(shè)有雙氧水計量泵，所述S02脫析罐的上端通過管路與緩沖罐連通，所述S02脫析罐的底端通過管路與超純酸儲罐連通，所述S02脫析罐與超純酸儲罐之間的管路上設(shè)有第二循環(huán)泵，所述so2脫析罐的頂端設(shè)有脫析罐排氣口，所述超純酸儲罐的頂部設(shè)有純酸儲罐排氣口，所述緩沖罐的一端設(shè)有真空泵，所述緩沖罐與真空泵通過管路連通，所述超純酸儲罐上設(shè)有輸出口。
[0005]進一步，所述吸收塔、酸冷器、S02脫析罐、緩沖罐、循環(huán)罐和超純酸儲罐內(nèi)層均設(shè)有氣聚合物層。
[0006]進一步，所述吸收塔采用燭式多級過濾器過濾。
[0007]進一步，所述酸冷器為蝶片式酸冷器，所述酸冷器上設(shè)有若干條循環(huán)水管路。
[0008]再進一步，所述脫析罐排氣口上設(shè)有第一空氣過濾器。
[0009]再進一步，所述純酸儲罐排氣口上設(shè)有第二空氣過濾器。
[0010]本發(fā)明的有益效果在于:該超純硫酸量產(chǎn)系統(tǒng)安全可靠，無環(huán)境污染，可實現(xiàn)大規(guī)模生產(chǎn)，為企業(yè)創(chuàng)造經(jīng)濟效益，可在硫酸行業(yè)推廣使用。
【附圖說明】
[0011]圖1為本發(fā)明示意圖。
[0012]其中:1、吸收塔2、酸冷器3、S02脫析罐
[0013]4、第一空氣過濾器5、緩沖罐6、真空泵
[0014]7、雙氧水儲罐8、雙氧水計量泵9、循環(huán)罐
[0015]10、第一循環(huán)泵11、超純水制備機12、第二循環(huán)泵
[0016]13、超純酸儲罐14、第二空氣過濾器15、去風(fēng)機進口
[0017]16、三氧化硫進口17、循環(huán)水管路18、脫析罐排氣口
[0018]19、輸出口20、純酸儲罐排氣口
【具體實施方式】
[0019]下面結(jié)合附圖對本發(fā)明的【具體實施方式】做出簡要說明。
[0020]如圖1所示一種超純硫酸量產(chǎn)系統(tǒng)，由吸收塔1、酸冷器2、S02脫析罐3、緩沖罐5、雙氧水儲罐7、循環(huán)罐9、超純水制備機11和超純酸儲罐13組成，所述吸收塔1的上端分別通過管路與酸冷器2和S02脫析罐3連通，所述吸收塔1的底端通過管路與循環(huán)罐9連通，所述吸收塔1上設(shè)有去風(fēng)機進口 15和三氧化硫進口 16，所述去風(fēng)機進口 15位于吸收塔1的頂端，所述三氧化硫進口 16位于吸收塔1的底端，所述酸冷器2的底端通過管路與循環(huán)罐9連通，所述酸冷器2與循環(huán)罐9之間的管路上設(shè)有第一循環(huán)泵10，所述循環(huán)罐9分別與雙氧水儲罐7和超純水制備機11通過管路連通，所述循環(huán)罐9與雙氧水儲罐7之間的管路上設(shè)有雙氧水計量泵8，所述S02脫析罐3的上端通過管路與緩沖罐5連通，所述S02脫析罐3的底端通過管路與超純酸儲罐13連通，所述S02脫析罐3與超純酸儲罐13之間的管路上設(shè)有第二循環(huán)泵12，所述S02脫析罐3的頂端設(shè)有脫析罐排氣口 18，所述超純酸儲罐13的頂部設(shè)有純酸儲罐排氣口 20，所述緩沖罐5的一端設(shè)有真空泵6，所述緩沖罐5與真空泵6通過管路連通，所述超純酸儲罐13上設(shè)有輸出口 19。
[0021]所述吸收塔1、酸冷器2、S02脫析罐3、緩沖罐5、循環(huán)罐9和超純酸儲罐13內(nèi)層均設(shè)有氣聚合物層。
[0022]所述吸收塔1采用燭式多級過濾器過濾。
[0023]所述酸冷器2為蝶片式酸冷器，所述酸冷器2上設(shè)有若干條循環(huán)水管路17。有效提聞冷卻效果。
[0024]所述脫析罐排氣口 18上設(shè)有第一空氣過濾器4。對廢氣進行過濾，降低環(huán)境污染。
[0025]所述純酸儲罐排氣口 20上設(shè)有第二空氣過濾器14。對廢氣進行過濾，降低環(huán)境污染。
[0026]工作方式:本超純硫酸量產(chǎn)系統(tǒng)通過用液體三氧化硫蒸出純凈的S03氣體，通過吸收塔1經(jīng)燭式多級過濾器過濾(濾膜孔徑0.01 μ m)，再用超純水制備機11制備出超純水直接吸收生成。生產(chǎn)過程所用的設(shè)備、管道、閥門、泵和儲罐均需用特殊氟聚合物做襯里。生產(chǎn)和儲存，灌裝和運輸各環(huán)節(jié)均完全密封。
[0027]以上對本發(fā)明的一個實施例進行了詳細(xì)說明，但所述內(nèi)容僅為本發(fā)明的較佳實施例，不能被認(rèn)為用于限定本發(fā)明的實施范圍。凡依本發(fā)明申請范圍所作的均等變化與改進等，均應(yīng)仍歸屬于本發(fā)明的專利涵蓋范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種超純硫酸量產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于:由吸收塔、酸冷器、so2脫析罐、緩沖罐、雙氧水儲罐、循環(huán)罐、超純水制備機和超純酸儲罐組成，所述吸收塔的上端分別通過管路與酸冷器和S02脫析罐連通，所述吸收塔的底端通過管路與循環(huán)罐連通，所述吸收塔上設(shè)有去風(fēng)機進口和三氧化硫進口，所述去風(fēng)機進口位于吸收塔的頂端，所述三氧化硫進口位于吸收塔的底端，所述酸冷器的底端通過管路與循環(huán)罐連通，所述酸冷器與循環(huán)罐之間的管路上設(shè)有第一循環(huán)泵，所述循環(huán)罐分別與雙氧水儲罐和超純水制備機通過管路連通，所述循環(huán)罐與雙氧水儲罐之間的管路上設(shè)有雙氧水計量泵，所述so2脫析罐的上端通過管路與緩沖罐連通，所述S02脫析罐的底端通過管路與超純酸儲罐連通，所述S02脫析罐與超純酸儲罐之間的管路上設(shè)有第二循環(huán)泵，所述so2脫析罐的頂端設(shè)有脫析罐排氣口，所述超純酸儲罐的頂部設(shè)有純酸儲罐排氣口，所述緩沖罐的一端設(shè)有真空泵，所述緩沖罐與真空泵通過管路連通，所述超純酸儲罐上設(shè)有輸出口。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述超純硫酸量產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于:所述吸收塔、酸冷器、302脫析罐、緩沖罐、循環(huán)罐和超純酸儲罐內(nèi)層均設(shè)有氟聚合物層。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述超純硫酸量產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于:所述吸收塔采用燭式多級過濾器過濾。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述超純硫酸量產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于:所述酸冷器為蝶片式酸冷器，所述酸冷器上設(shè)有若干條循環(huán)水管路。5.根據(jù)權(quán)利要求1-4任意一項所述超純硫酸量產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于:所述脫析罐排氣口上設(shè)有第一空氣過濾器。6.根據(jù)權(quán)利要求1-4任意一項所述超純硫酸量產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于:所述純酸儲罐排氣口上設(shè)有第二空氣過濾器。
【專利摘要】本發(fā)明的目的是提供一種超純硫酸量產(chǎn)系統(tǒng)。本發(fā)明的技術(shù)方案為：一種超純硫酸量產(chǎn)系統(tǒng)，由吸收塔、酸冷器、SO2脫析罐、緩沖罐、雙氧水儲罐、循環(huán)罐、超純水制備機和超純酸儲罐組成，吸收塔的上端分別通過管路與酸冷器和SO2脫析罐連通，吸收塔的底端通過管路與循環(huán)罐連通，酸冷器的底端通過管路與循環(huán)罐連通，循環(huán)罐分別與雙氧水儲罐和超純水制備機通過管路連通，SO2脫析罐的上端通過管路與緩沖罐連通，SO2脫析罐的底端通過管路與超純酸儲罐連通，超純酸儲罐上設(shè)有輸出口。本發(fā)明的有益效果在于：該超純硫酸量產(chǎn)系統(tǒng)安全可靠，無環(huán)境污染，可實現(xiàn)大規(guī)模生產(chǎn)，為企業(yè)創(chuàng)造經(jīng)濟效益，可在硫酸行業(yè)推廣使用。
【IPC分類】C01B17/74
【公開號】CN105366646
【申請?zhí)枴緾N201410438207
【發(fā)明人】李冀庚, 張恒昌, 戴明
【申請人】天津渤大硫酸工業(yè)有限公司
【公開日】2016年3月2日
【申請日】2014年8月31日