技術編號：9599182
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。 隨著低溫多晶硅（LTPS)半導體薄膜晶體管（TFT)的發(fā)展，以及由于LTPS半導體 本身超高載流子迀移率的特性，相應的面板周邊集成電路也成為大家關注的焦點，并且很 多人投入到System on Panel(SOP)的相關技術研究，并逐步成為現(xiàn)實。與此同時，由于LTPS 半導體高迀移率的因素，其漏電特性相對于A-Si而言變得很差，漏電成為在LTPS設計中不 可忽略的一部分。 如圖1和圖2所示，圖1是現(xiàn)有技術的TFT陣列基板的制備方法的流程示意圖。 圖2是現(xiàn)...
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