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三維疊層多芯片結(jié)構(gòu)及其制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):9549498

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三維集成電路(three-dimens1nalintegrated circuit, 3D 1C)的制造方法是將多個(gè)半導(dǎo)電體芯片垂直地疊層并接合,以產(chǎn)生單一的三維集成電路。一般來說,是將相鄰芯片的邊緣以階梯狀錯(cuò)開,以一種打線接合的方式,連接芯片上的焊墊。此外,也可采用一種石圭通孔(through-silicon via, TSV)的方式,將疊層的芯片連接。相較傳統(tǒng)的打線接合技術(shù),使用硅通孔疊層芯片可具有更寬的帶寬與較短的連接路徑,進(jìn)而提高處理速度和降低功耗...
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