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半導(dǎo)體裝置及半導(dǎo)體裝置的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):9525669

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以往,有通過將在基板上形成有半導(dǎo)體元件或集成電路的芯片多級(jí)貼合來減小半導(dǎo)體裝置的占用面積的技術(shù)。在貼合的芯片的各貼合面上設(shè)有絕緣層,在各絕緣層的對(duì)應(yīng)的位置上,設(shè)有通過貼合而連接芯片的多個(gè)電極。將這樣的各芯片在進(jìn)行研磨以使貼合面變平坦后貼合。但是,在將各芯片的貼合面研磨的工序中,有絕緣層的貼合面和電極的貼合面不為同面的情況。在這樣的情況下,有在芯片彼此的接合部分發(fā)生接合不良而成品率下降的情況。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明要解決的課題是,提供一種能夠使成品率提高的?!夹g(shù)方...
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