技術(shù)編號：9524337
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。掩I旲檢測、晶片檢測和相關(guān)監(jiān)視和檢驗工藝是半導(dǎo)體制造的基本步驟。該制造工藝越來越復(fù)雜并且要求高精度，從而隨著進(jìn)步的技術(shù)節(jié)點而使結(jié)構(gòu)的尺寸縮小。同時，芯片復(fù)雜度，即，例如需要監(jiān)視的結(jié)構(gòu)數(shù)目，增加。檢測和成品率分析工藝需要跟上這些要求。因為檢測策略和檢測設(shè)置必須適應(yīng)于設(shè)計以能夠獲取相關(guān)信息，所以檢測愈加得益于設(shè)計信息。劃片線(scribeline)結(jié)構(gòu)已被用于此目的，但是劃片線具有一些缺點。例如劃片線擠滿了其他測試結(jié)構(gòu)。此外，劃片線可能不是電路設(shè)計的一部分，并...
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