技術(shù)編號：9467207
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。 祀材是磁控瓣射鍛膜的瓣射源，祀材的好壞對薄膜的性能起至關(guān)重要的作用，因 此高品質(zhì)的祀材是保證薄膜質(zhì)量的前提和基礎(chǔ)，大量研究表明，影響祀材品質(zhì)的因素主要 有純度、致密度、結(jié)構(gòu)取向、晶粒大小及分布、尺寸、形狀等，其中衡量祀材品質(zhì)最重要的指 標(biāo)是祀材的相對密度、純度、結(jié)晶取向及其微觀結(jié)構(gòu)的均勻性。瓣射過程對祀材的致密度的 要求很高，如果祀材結(jié)構(gòu)的致密性較差，具有高能量密度的Ar+轟擊祀材時，會導(dǎo)致祀表面 大塊物質(zhì)的剝落，從而使得薄膜表面具有較多的大顆粒。運將嚴(yán)...
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