技術編號：9422055
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。目前，在有機EL元件的制造中，形成有機EL元件的有機層或陰極電極時，使用例如在應蒸鍍的區(qū)域以微小間隔平行排列多個微細縫隙而成的金屬制蒸鍍掩模。在使用該蒸鍍掩模的情況下，在應蒸鍍的基板表面載置蒸鍍掩模，從背面使用磁鐵來保持，但是，由于縫隙的剛性極小，所以在將蒸鍍掩模保持在基板表面時，容易在縫隙處發(fā)生變形，妨礙高精細化或縫隙長度大的制品大型化。對于用于防止縫隙變形的蒸鍍掩模，已進行各種檢討，例如在專利文獻I中公開了一種蒸鍍掩模，其具備具有多個開口部的兼作第一金...
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