技術(shù)編號(hào)：9377871
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。集成電路制造技術(shù)是一個(gè)復(fù)雜的工藝，技術(shù)更新很快。表征集成電路制造技術(shù)的一個(gè)關(guān)鍵參數(shù)為最小特征尺寸，即關(guān)鍵尺寸(critical dimens1n,⑶)，關(guān)鍵尺寸的大小從最初的125微米發(fā)展到現(xiàn)在的0.13微米，甚至更小，正是由于關(guān)鍵尺寸的減小才使得每個(gè)芯片上設(shè)置百萬(wàn)個(gè)器件成為可能。隨著半導(dǎo)體器件尺寸的不斷縮小，所述器件的邏輯區(qū)故障排除(Logic areadebug)變得更加困難，因?yàn)楣收蠀^(qū)域或者具有缺陷的地方很難找到，現(xiàn)有技術(shù)中尋找缺陷點(diǎn)(weak po...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。