技術(shù)編號：9337950
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明屬于超聲霧化熱解噴涂薄膜材料制備領(lǐng)域，尤其涉及一種獨立式多源共聚焦超聲霧化熱解噴涂反應(yīng)室。背景技術(shù)超聲霧化熱解噴涂(簡稱USP)是一種常見的薄膜材料制備工藝，在科研和生產(chǎn)中有廣泛的用途，這種方法擅長氧化物、硫化物、氯化物等化合物薄膜的制備。合理的工藝參數(shù)下，USP薄膜的質(zhì)量可以與濺射法、CVD方法制備的薄膜材料相當，但成本卻大幅度降低。摻雜薄膜和多層薄膜是薄膜材料研究和生產(chǎn)中非常常見的情況，傳統(tǒng)的USP方法在摻雜和多層膜制備中存在一定的問題，主要問題...
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