技術(shù)編號(hào)：9075132
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。在單晶硅的生產(chǎn)過程中，單晶拉制完成之后，石英坩禍里面會(huì)剩余少量的硅材料，稱為禍底料，拉晶產(chǎn)生的禍底料與石英禍粘在一起很難處理。目前常用的處理方法為，先用錘子將禍底料和石英敲擊分離開，但是仍然有少量石英粘在禍底料上無法去除，然后將帶石英的禍底料放入盛滿氫氟酸的容器中，石英與氫氟酸發(fā)生反應(yīng)將石英腐蝕掉，得到純凈的禍底料。當(dāng)時(shí)所用工藝為將禍底料置于盛滿氫氟酸的容器中，由于容器中的酸為靜止?fàn)顟B(tài)，存在反應(yīng)不充分，處理效率低等缺點(diǎn)。有鑒于此，需要發(fā)明一種處理時(shí)間短，工...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。