技術(shù)編號:8923867
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。三維集成技術(shù),被認為是“More Than Moore”技術(shù),是未來進一步延伸集成電路“摩爾定律”的關(guān)鍵技術(shù)之一。三維集成技術(shù),利用了芯片的第三維度,通過圓片鍵合、圓片襯底減薄等先進半導體制作方法,在垂直方向上疊加多層芯片,并通過穿透芯片襯底的垂直互連實現(xiàn)多層芯片之間的電學導通。三維集成技術(shù),在相同面積、相同晶體管集成密度下,通過多層芯片的垂直疊加,能夠有效地提高芯片的集成度;通過大量的垂直互連代替?zhèn)鹘y(tǒng)平面的全局互連,大大縮小芯片互連線的長度,有利于降低系...
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