技術(shù)編號：8856445
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。用于藍寶石襯底材料拋光機的下拋光盤，由于在拋光過程中會產(chǎn)生大量的熱，溫度的變化必然會導致拋光盤發(fā)生形變，進而影響加工質(zhì)量，因此必須嚴格控制拋光盤的溫度。近年來藍寶石襯底晶片的尺寸趨向大直徑化，對藍寶石晶片的質(zhì)量要求也越來越嚴，對于用來進行藍寶石晶片拋光加工的拋光設備，必須嚴格控制拋盤的形變。此前生產(chǎn)的單面拋光機的拋盤采用整體式結(jié)構(gòu)，沒有進行專門溫度控制的裝置，拋光加工過程中所產(chǎn)生的熱量主要靠拋光液帶走，屬于被動式冷卻，拋盤溫度的變化不可控。而藍寶石襯底材料...
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