技術(shù)編號：86548
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明有關(guān)于一種，特別是一種提供基板作蒸鍍制造工藝的(evaporation module of evaporation machine and evaporation method utilizingthe same)。 背景技術(shù)請參閱圖1，現(xiàn)有的真空蒸鍍設(shè)備10用以對基板20進(jìn)行蒸鍍制造工藝，該真空蒸鍍設(shè)備10包括有腔體11以及蒸鍍機臺12，蒸鍍機臺12包括有復(fù)數(shù)蒸鍍源121、122、123、124，并且這些蒸鍍源121、122、123、124依序以線性方式排列且分別為電洞注入蒸鍍源(HIL)、電洞傳輸...
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