技術(shù)編號：8616539
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。在使用機(jī)器人進(jìn)行玻璃基板搬送時(shí)，機(jī)器人的機(jī)械手在玻璃基板取放過程中，常常無法實(shí)現(xiàn)玻璃基板的位置校正，從而造成機(jī)器人的機(jī)械手放置玻璃基板的位置精度較差，影響工藝制程。面對上述問題，業(yè)內(nèi)通常的解決方案是，需要借助獨(dú)立于機(jī)器人的設(shè)備校正機(jī)構(gòu)，該設(shè)備校正機(jī)構(gòu)對放置在設(shè)備平臺上的玻璃基板進(jìn)行位置校正，利用四角的夾持機(jī)構(gòu)或四邊的推動機(jī)構(gòu)對玻璃基板的位置進(jìn)行校正，位置校正完成后再通過機(jī)器人取放玻璃基板而無需機(jī)器人再進(jìn)行位置校正。這樣的方式雖然能夠?qū)崿F(xiàn)對玻璃基板位置的校正...
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