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一種smd石英諧振器離子刻蝕調(diào)整頻率的托盤載料裝置的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:8564574

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石英諧振器離子刻蝕是提將石英晶片鍍金膜或銀膜后,搭載入基座后的,裝入托盤并傳入真空腔內(nèi)進行離子刻蝕。在刻蝕前測量系統(tǒng)對來料進行頻率測試并計算出需要刻蝕的時間,在刻蝕后進行再次測量以檢測調(diào)整頻率后產(chǎn)品是事滿足要求。離子刻蝕的過程是在真空中通過鎢絲放電使Ar氣體電離成等離子體,接著對Ar離子進行加速使其成為高能量的離子束,最后通過柵極將高能離子束引出,使其射向鍍膜后的石英晶片,產(chǎn)生碰撞使鍍膜表面產(chǎn)生濺射,達到減薄金膜或銀膜而達到頻率調(diào)整的目的。石英諧振器在手機...
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