技術(shù)編號:8519684
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。 隨著集成電路領(lǐng)域的發(fā)展,微電子領(lǐng)域器件尺寸日益減小,原先采用的硅基集成 電路發(fā)展到達一個瓶頸,減小加工線寬的同時不降級產(chǎn)品的性能幾乎不可能實現(xiàn)。更加優(yōu) 異的新型材料急待研發(fā)應(yīng)用。 為在獲取更好的集成電路器件的同時減小器件尺寸,石墨烯作為一種新型材料被 寄予厚望,其超高載流子迀移率、出色的力學(xué)性能、熱穩(wěn)定性和良好的半導(dǎo)體特性使得石墨 烯成為新一代碳基集成電路焦點。石墨烯是一種二維結(jié)構(gòu)SP2雜化的單層碳原子薄膜,其S 層軌道電子呈電子云狀,每個原子與其他三個...
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