技術(shù)編號(hào):8411626
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明是關(guān)于一種基材對(duì)位方法,尤其是一種,其適用于在不同等待空間下的具有特定標(biāo)記或特定外形的不同尺寸的二基板的對(duì)位。背景技術(shù)典型的雙層板對(duì)位的技術(shù)應(yīng)用為玻璃光罩精密對(duì)位,除此之外,應(yīng)用雙層板對(duì)位技術(shù)的范圍甚為廣泛,如半導(dǎo)體業(yè)、平面顯示器業(yè)、印刷電路板業(yè)等領(lǐng)域皆為其應(yīng)用領(lǐng)域。而光罩精密對(duì)位為上述電子產(chǎn)業(yè)的各類曝光機(jī)的關(guān)鍵技術(shù),若能掌握其關(guān)鍵技術(shù)以降低制造成本,則對(duì)提高國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力將有莫大的助益。美國(guó)專利公告US7946669號(hào)揭示一種插入式的對(duì)位裝置,主要是將...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。