技術(shù)編號：8407988
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。 本發(fā)明屬于微電子，特別涉及一種石墨烯的制備方法，可用于半導(dǎo)體器 件的制備。 技術(shù)背景 隨著集成電路的發(fā)展，目前硅基器件的關(guān)鍵尺寸已經(jīng)達到理論和技術(shù)極限，量子 效應(yīng)已經(jīng)成為主要機制，傳統(tǒng)的基于擴散-漂移理論的硅基器件受到物理和技術(shù)雙重限 制，無法繼續(xù)承擔(dān)延續(xù)摩爾定律的重任，因此，必須尋找新一代基礎(chǔ)半導(dǎo)體材料，發(fā)展新的 理論和器件模型，以滿足集成電路繼續(xù)發(fā)展的需要。 石墨烯材料是一種碳基二維晶體，是目前已知最輕最薄的材料，單層僅原子厚度， 它具有極其優(yōu)異的物...
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