技術(shù)編號:8399382
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。在一些情況下,晶體管可由半導(dǎo)體襯底形成,半導(dǎo)體襯底具有從半導(dǎo)體襯底的表面延伸的鰭部件。鰭部件可以基本垂直于半導(dǎo)體襯底的平面延伸。鰭部件的厚度還可以小于半導(dǎo)體襯底的厚度。因此,通過從半導(dǎo)體襯底的表面延伸且厚度小于半導(dǎo)體襯底的厚度,鰭部件可以類似于在半導(dǎo)體襯底的表面上方延伸的“鰭”。可以通過在鰭部件的多個表面上設(shè)置諸如多晶體硅(本文也稱為“多晶硅”)的材料來形成晶體管的各個柵極。例如,晶體管的柵極可以通過包圍多晶硅中的鰭的部分來形成。此外,可以由鰭部件的摻雜區(qū)...
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