技術(shù)編號(hào)：8974243
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。在硅晶體的制備過程中，其大部分過程是吸熱過程，即需要外部供給熱量，因?yàn)槭哂心透邷?、電阻率高、?qiáng)度隨著溫度提高而增加等特點(diǎn)，因此采用石墨加熱器提供制備過程所需要的熱量。石墨加熱器在使用過程中，由于漏硅或滲硅等原因，導(dǎo)致加熱器電極支腳和石墨電極粘結(jié)在一起，加熱器電阻發(fā)生變化，進(jìn)而影響溫度梯度，使加熱器不能再繼續(xù)使用。但是，加熱器的主體依然是完好的。加熱器所用的石墨是高純等靜壓石墨，這類石墨主要依靠進(jìn)口，價(jià)格昂貴。因此這就造成了企業(yè)成本的提高。實(shí)用新型內(nèi)容針...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。