技術(shù)編號：8224787
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。半導(dǎo)體橋火工品具有電阻負(fù)溫度特性、邊緣汽化效應(yīng)、硅熔化時電阻率突降、低熔點(diǎn)和電離等優(yōu)點(diǎn)，已成為火工品首選器件，廣泛應(yīng)用于火箭、衛(wèi)星、飛船、飛行員救生以及民用工程爆破、火藥動力等裝置。多晶硅半導(dǎo)體橋是半導(dǎo)體橋中性價比最好的一種，是各國公司重點(diǎn)開發(fā)的產(chǎn)品。但是，多晶硅半導(dǎo)體橋加工中，多晶硅淀積的顆粒、厚度、摻雜等對多晶硅半導(dǎo)體橋的性能影響非常嚴(yán)重。多晶硅厚度太厚會產(chǎn)生龜裂現(xiàn)象，顆粒不均勻會影響多晶硅汽化產(chǎn)生等離子體的時間和臨界電流。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明所要解決的技術(shù)...
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