技術(shù)編號：8205151
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本實用新型屬于直拉硅單晶爐制造技術(shù)領(lǐng)域，涉及直拉法硅單晶爐坩堝轉(zhuǎn) 動和升降用的單晶爐堝轉(zhuǎn)升降軸。 背景技術(shù)20世紀(jì)以來,世界各國半導(dǎo)體材料需求量的增長，直接影響著我國半導(dǎo)體 材料業(yè)的M,特別是150咖至200mm單晶需求量在不斷上升。硅單晶爐，是在 惰性氣體環(huán)境中以石墨電阻加熱將硅熔化，用軟軸直拉法生長無位錯單晶的專 用設(shè)備，用于生產(chǎn)大恥漠集成電路的太陽能電池元器件等高質(zhì)量單晶材料。直 拉法硅單晶爐坩堝轉(zhuǎn)動和升降用的單晶爐堝轉(zhuǎn)升降軸，是單晶爐的心臟部分之 一，它需凌^ 義受60kg以上的壓力，并在高于"00...
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