技術(shù)編號：8198756
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及微結(jié)構(gòu)化產(chǎn)品，本發(fā)明具體地涉及一種生產(chǎn)兩面微結(jié)構(gòu)化產(chǎn)品的方法 和用于生產(chǎn)這樣的產(chǎn)品的布置。背景技術(shù)在許多產(chǎn)品分節(jié)中，產(chǎn)品特征的恰當配準或者對準至關(guān)重要。這樣的產(chǎn)品的例子 是合成圖像器件、全息器件、亮度增強器件、回射器件、電子電路器件、微流體器件、不同類 型的顯示器件及其組合。其他例子可以有更多化學性質(zhì)，比如電化學器件、電致變色器件、 生物測定器件等。產(chǎn)品特征的對準常常與在襯底的表面中或者表面上提供產(chǎn)品特征的后續(xù) 步驟有關(guān)，其中一個步驟的產(chǎn)品特征應當與后續(xù)步驟的產(chǎn)品特征相互作用(或者被阻止與 其相互...
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