技術(shù)編號:8161258
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本實用新型屬于單晶生長技術(shù)領(lǐng)域,特別是涉及感應(yīng)加熱物理氣相傳輸生長單晶的裝置。背景技術(shù)感應(yīng)加熱物理氣相傳輸法生長單晶時,需要使用高熔點材料(例如高純石墨、金屬鉭、鎢等)制作坩堝,用來盛裝料源(放在堝底)和籽晶(裝在堝蓋內(nèi)表面)。目前一般都是用一個坩堝(以下簡稱為“單坩堝”),既作發(fā)熱體、又作生長腔,結(jié)構(gòu)比較簡單。但是,為了滿足發(fā)熱和溫場的要求,單坩堝的尺寸需要做得比單純裝料所需的坩堝尺寸大很多,而取出 生成的單晶時,一般只能破壞坩堝。因此,單坩堝只能一次性使用,這導(dǎo)致高熔點坩堝材料消耗大、坩堝成本高。另外,...
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