技術(shù)編號：8153557
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域 本發(fā)明屬于半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種基于藍(lán)寶石基板的半導(dǎo)體設(shè)備。背景技術(shù) 目前，大多數(shù)的半導(dǎo)體材料主要是外延生長在藍(lán)寶石基板上，在外延生長過程中，容易引起藍(lán)寶石基板的翹曲，嚴(yán)重時，導(dǎo)致藍(lán)寶石基板的破裂，造成后續(xù)工藝的復(fù)雜，增加了工藝難度，同時，也增加了成本。發(fā)明內(nèi)容· 本發(fā)明的目的在于提供一種基于藍(lán)寶石基板的半導(dǎo)體設(shè)備，旨在解決現(xiàn)有技術(shù)半導(dǎo)體材料在外延生長過程中，容易引起藍(lán)寶石基板的翹曲，嚴(yán)重時，導(dǎo)致藍(lán)寶石基板的破裂，造成后續(xù)工藝的復(fù)雜，增加了工藝難度，同時，也增加了成本的問題。本發(fā)明是這樣實現(xiàn)的...
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