技術(shù)編號：8134432
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及一種。 背景技術(shù)在現(xiàn)有的外延單晶成長的工藝中，通過測方塊電阻來辨別是否已 經(jīng)長了單晶，但是在現(xiàn)有測方塊電阻工藝中用到了四探針法，該方法 需要將探針扎到產(chǎn)品的表面，容易造成缺陷的產(chǎn)生。另外，也有通過 測定硅片厚度的方式進(jìn)行檢測，但由于厚度本身就很小，不易檢測， 并且檢測不準(zhǔn)確，工藝較為復(fù)雜。這樣就需要找到一種既能快速監(jiān)控單晶成長又不會損害產(chǎn)品的 簡單快捷的方法。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種檢測外延單晶正常成長 的方法，它可以在不損害到產(chǎn)品的情況下，實現(xiàn)簡單快速地檢測外延 單晶的成長情況...
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