技術編號：8128085
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。技術領域本發(fā)明提供一種于一具有層流(laminar flow)裝置的潔凈室(clean room)中去除靜電荷(electrostatic charges)，進而防止?jié)崈羰异o電放電(electrostatic discharge)的方法。而一般潔凈室防止靜電的方法，乃是利用靜電消除棒(ionization bar)或是靜電消除系統(tǒng)(ionization system)來中和(neutralize)靜電。前者利用鍺(germanium)或是100％鎢(tungsten)來作為發(fā)射管(或稱為發(fā)射極，emitter)，經...
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