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一種利用緩沖層制備高質(zhì)量ZnO薄膜的方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:8119833

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技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及,屬于無機非金屬材料 制造工藝領(lǐng)域。技術(shù)背景隨著第三代通訊技術(shù)的發(fā)展,聲表面波(SAW)器件的使用頻率不斷提高,從最初 的幾MHz發(fā)展到現(xiàn)在的幾GHz,如應(yīng)用于1.9GHz的個人通訊服務(wù)系統(tǒng),2.4GHz的 無線局域網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)及高于5GHz無線多端發(fā)送系統(tǒng)。這些高頻應(yīng)用系統(tǒng)的不斷發(fā)展顯 著增大了高頻聲表面波器件的市場需求。而傳統(tǒng)的SAW材料聲速低,通常低于 4000m/s,僅能制備頻率相對低的器件。金剛石具聲波傳播速度在所有材料中是最快的,因此,在工藝水平相同的條件下, 金剛石材料可以制備出較高頻率...
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