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一種用于多晶硅鑄錠的氬氣供給裝置制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:8111858

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專利摘要本實(shí)用新型涉及一種用于多晶硅鑄錠的氬氣供給裝置。氬氣在汽化過程中會(huì)吸收大量的熱量,而這些冷量通常不會(huì)進(jìn)行利用。本實(shí)用新型提供一種用于多晶硅鑄錠的氬氣供給裝置,包括爐區(qū)、氬氣罐、蒸發(fā)器和冷水空調(diào)機(jī)組,所述氬氣罐與蒸發(fā)器通過一號管路連接,所述一號管路上設(shè)有控制閥,所述蒸發(fā)器與爐區(qū)通過二號管路連接,所述冷水空調(diào)機(jī)組與蒸發(fā)器通過三號管路連接,其特征在于還包括保溫水池和一號水泵,所述保溫水池位于蒸發(fā)器的下方,所述保溫水池與冷水空調(diào)機(jī)組通過四號管路連接,所述一號水泵設(shè)置在四號管路上。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單,設(shè)計(jì)合理,保證氬...
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