一種用于多晶硅鑄錠的氬氣供給裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種用于多晶硅鑄錠的氬氣供給裝置。氬氣在汽化過程中會吸收大量的熱量，而這些冷量通常不會進行利用。本實用新型提供一種用于多晶硅鑄錠的氬氣供給裝置，包括爐區(qū)、氬氣罐、蒸發(fā)器和冷水空調(diào)機組，所述氬氣罐與蒸發(fā)器通過一號管路連接，所述一號管路上設(shè)有控制閥，所述蒸發(fā)器與爐區(qū)通過二號管路連接，所述冷水空調(diào)機組與蒸發(fā)器通過三號管路連接，其特征在于：還包括保溫水池和一號水泵，所述保溫水池位于蒸發(fā)器的下方，所述保溫水池與冷水空調(diào)機組通過四號管路連接，所述一號水泵設(shè)置在四號管路上。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，設(shè)計合理，保證氬氣正常供應(yīng)，有效利用能量，有效降低裝置整體的能耗。
【專利說明】-種用于多晶硅鑄錠的氬氣供給裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實用新型涉及一種用于多晶硅鑄錠的氬氣供給裝置。

【背景技術(shù)】
[0002] 多晶鑄錠爐是當(dāng)今用于多晶硅鑄錠生產(chǎn)的主要設(shè)備，因其產(chǎn)量高、成本低的優(yōu)勢， 目前已取代單晶爐設(shè)備，是光伏行業(yè)上游產(chǎn)品生產(chǎn)制造的主要設(shè)備。
[0003] 多晶硅鑄錠爐的生產(chǎn)工藝是：將多晶硅原料裝入經(jīng)過氮化硅噴涂處理過的石英陶 瓷坩堝里面，送入多晶硅鑄錠爐，抽掉爐腔內(nèi)的空氣后加熱，在惰性氣體氬氣的保護下加熱 至1550度熔化，待熔化結(jié)束后降溫至一定溫度，緩慢提升隔熱籠，通過定向凝固塊散熱使 坩堝中的液態(tài)多晶硅料形成垂直溫度梯度，由坩堝底部開始自下向上結(jié)晶凝固，至液態(tài)硅 料全部結(jié)晶凝固完畢后經(jīng)過退火、冷卻等過程，完成多晶硅鑄錠生產(chǎn)。其中，氬氣通常采用 氬氣罐進行供氣，而氬氣罐內(nèi)的氬氣為液態(tài)氬氣，因而需要將液態(tài)氬氣汽化后才能使用，而 在汽化過程中會吸收大量的熱量，而這些冷量通常不會進行利用，造成了浪費。 實用新型內(nèi)容
[0004] 本實用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述不足，而提供一種結(jié)構(gòu)設(shè)計合 理，保證氬氣正常供應(yīng)，有效利用能量，有效降低裝置整體的能耗的用于多晶硅鑄錠的氬氣 供給裝置。
[0005] 本實用新型解決上述問題所采用的技術(shù)方案是：該用于多晶硅鑄錠的氬氣供給裝 置，包括用于多晶硅鑄錠的爐區(qū)、用于存放液態(tài)氬氣的氬氣罐、用于將液態(tài)氬氣汽化的蒸發(fā) 器和用于對爐區(qū)進行冷卻的冷水空調(diào)機組，所述氬氣罐與蒸發(fā)器通過一號管路連接，所述 一號管路上設(shè)有控制閥，所述蒸發(fā)器與爐區(qū)通過二號管路連接，所述冷水空調(diào)機組與蒸發(fā) 器通過三號管路連接，其特征在于：還包括保溫水池和用于將保溫水池中的水供給冷水空 調(diào)機組的一號水泵，所述保溫水池位于蒸發(fā)器的下方，所述保溫水池與冷水空調(diào)機組通過 四號管路連接，所述一號水泵設(shè)置在四號管路上。液態(tài)氬氣在蒸發(fā)器內(nèi)汽化，從而吸收大 量的熱量，冷水空調(diào)機組排出的熱水經(jīng)過蒸發(fā)器時，其熱量被蒸發(fā)器吸收，從而變成冷水， 并從蒸發(fā)器滴入到保溫水池中，一號水泵將保溫水池中的冷水抽到冷水空調(diào)機組進行熱交 換，冷水空調(diào)機組對爐區(qū)進行冷卻，從而可充分利用液態(tài)氬氣汽化時產(chǎn)生的冷量，有效利用 能量，降低裝置整體的能耗。
[0006] 本實用新型還包括二號水泵，所述二號水泵設(shè)置在四號管路上，所述二號水泵與 一號水泵并聯(lián)設(shè)置。由于水泵需持續(xù)工作，因而經(jīng)常需要檢修，一號水泵和二號水泵可交替 使用，從而可保證裝置整體持續(xù)工作，提高生產(chǎn)效率。
[0007] 本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有以下優(yōu)點和效果：結(jié)構(gòu)簡單，設(shè)計合理，液態(tài)氬 氣在蒸發(fā)器內(nèi)汽化，從而吸收大量的熱量，冷水空調(diào)機組排出的熱水經(jīng)過蒸發(fā)器時，其熱量 被蒸發(fā)器吸收，從而變成冷水，并從蒸發(fā)器滴入到保溫水池中，水泵將保溫水池中的冷水抽 到冷水空調(diào)機組進行熱交換，冷水空調(diào)機組對爐區(qū)進行冷卻，從而可充分利用液態(tài)氬氣汽 化時產(chǎn)生的冷量，有效利用能量，降低裝置整體的能耗。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0008] 圖1是本實用新型實施例中用于多晶硅鑄錠的氬氣供給裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實施方式】
[0009] 下面結(jié)合附圖并通過實施例對本實用新型作進一步的詳細說明，以下實施例是對 本實用新型的解釋而本實用新型并不局限于以下實施例。
[0010] 實施例。
[0011] 參見圖1，本實施例中的用于多晶硅鑄錠的氬氣供給裝置包括用于多晶硅鑄錠的 爐區(qū)1、用于存放液態(tài)氬氣的氬氣罐2、用于將液態(tài)氬氣汽化的蒸發(fā)器3、用于對爐區(qū)1進行 冷卻的冷水空調(diào)機組4、一號管路5、二號管路6、三號管路7、四號管路8、保溫水池9、一號 水泵10和二號水泵11。
[0012] 本實施例中的氬氣罐2與蒸發(fā)器3通過一號管路5連接，一號管路5上設(shè)有控制閥 51，控制閥51可控制氬氣的供給及氬氣供給流量，蒸發(fā)器3與爐區(qū)1通過二號管路6連接， 冷水空調(diào)機組4與蒸發(fā)器3通過三號管路7連接，保溫水池9位于蒸發(fā)器3的下方，保溫水 池9與冷水空調(diào)機組4通過四號管路8連接，一號水泵10設(shè)置在四號管路8上，液態(tài)氬氣在 蒸發(fā)器3內(nèi)汽化，從而吸收大量的熱量，冷水空調(diào)機組4排出的熱水經(jīng)過蒸發(fā)器3時，其熱 量被蒸發(fā)器3吸收，從而變成冷水，并從蒸發(fā)器3滴入到保溫水池9中，一號水泵10將保溫 水池9中的冷水抽到冷水空調(diào)機組4進行熱交換，冷水空調(diào)機組4對爐區(qū)1吹冷風(fēng)進行冷 卻，從而可充分利用液態(tài)氬氣汽化時產(chǎn)生的冷量，有效利用能量，降低裝置整體的能耗。本 實施例中的保溫水池9具有保溫作用，防止冷量流失。
[0013] 本實施例中的二號水泵11設(shè)置在四號管路8上，二號水泵11與一號水泵10并聯(lián) 設(shè)置，由于水泵需持續(xù)工作，因而經(jīng)常需要檢修，一號水泵10和二號水泵11可交替使用，從 而可保證裝置整體持續(xù)工作，提高生產(chǎn)效率。
[0014] 此外，需要說明的是，本說明書中所描述的具體實施例，其零、部件的形狀、所取名 稱等可以不同，本說明書中所描述的以上內(nèi)容僅僅是對本實用新型結(jié)構(gòu)及附圖所作的舉例 說明。凡依據(jù)本實用新型專利構(gòu)思所述的構(gòu)造、特征及原理所做的等效變化或者簡單變化， 均包括于本實用新型專利的保護范圍內(nèi)。本實用新型所屬【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員可以對所描 述的具體實施例做各種各樣的修改或補充或采用類似的方式替代，只要不偏離本實用新型 的結(jié)構(gòu)或者超越本權(quán)利要求書所定義的范圍，均應(yīng)屬于本實用新型的保護范圍。
【權(quán)利要求】
1. 一種用于多晶硅鑄錠的氬氣供給裝置，包括用于多晶硅鑄錠的爐區(qū)、用于存放液態(tài) 氬氣的氬氣罐、用于將液態(tài)氬氣汽化的蒸發(fā)器和用于對爐區(qū)進行冷卻的冷水空調(diào)機組，所 述氬氣罐與蒸發(fā)器通過一號管路連接，所述一號管路上設(shè)有控制閥，所述蒸發(fā)器與爐區(qū)通 過二號管路連接，所述冷水空調(diào)機組與蒸發(fā)器通過三號管路連接，其特征在于：還包括保溫 水池和用于將保溫水池中的水供給冷水空調(diào)機組的一號水泵，所述保溫水池位于蒸發(fā)器的 下方，所述保溫水池與冷水空調(diào)機組通過四號管路連接，所述一號水泵設(shè)置在四號管路上。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于多晶硅鑄錠的氬氣供給裝置，其特征在于：還包括二號 水泵，所述二號水泵設(shè)置在四號管路上，所述二號水泵與一號水泵并聯(lián)設(shè)置。
【文檔編號】C30B29/06GK203999912SQ201420443449
【公開日】2014年12月10日 申請日期:2014年8月7日 優(yōu)先權(quán)日:2014年8月7日
【發(fā)明者】黃賢強, 沈達軍, 何建軍, 吳林霞 申請人:浙江溢閎光電科技有限公司