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藍(lán)寶石晶體生長設(shè)備的多段式石墨加熱系統(tǒng)及其使用方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):8099582

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專利摘要本發(fā)明屬于藍(lán)寶石晶體生長爐設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,提供了,包括上部加熱器、中部加熱器、底部加熱器和電源裝置、生長爐腔體、坩堝裝置、保溫層;生長爐腔體包括小爐蓋、大爐蓋、爐筒和爐底盤;坩堝裝置包括坩堝、坩堝托盤和坩堝支柱;上部加熱器和中部加熱器分別包括連續(xù)S型的柵欄狀石墨圓筒、4個(gè)石墨圓柱、2個(gè)長水冷銅電極和2個(gè)短水冷銅柱;底部加熱器包括S型柵欄的石墨圓盤和2個(gè)石墨電極、水冷銅電極;3個(gè)獨(dú)立控制的電源與上部加熱器、中部加熱器和底部加熱器的水冷電纜相連接。本發(fā)明具有滿足大尺寸藍(lán)寶石晶體生長時(shí)各個(gè)階段溫度梯度的要求、降低成...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

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