技術編號:8092907
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。專利摘要本發(fā)明公開了含有填充銅柱的高導熱陶瓷基板及其制備工藝,含有填充銅柱的高導熱陶瓷基板陶瓷基板中設有若干通孔,通孔是通過沿陶瓷基板用陶瓷片厚度方向貫穿打孔形成的,通孔的上下兩個孔口的面積不相等,且通孔中設有填充銅柱。該高導熱陶瓷基板的制備工藝,包括步驟1)沿陶瓷片厚度方向貫穿打孔;2)對打孔后的陶瓷片依次濺射緩沖層和導電層;3)電鍍銅,使得孔的下口被封閉,獲得盲孔;4)繼續(xù)電鍍,使得盲孔被充滿。本發(fā)明的產品的通孔的上下孔口面積不等,對其進行填充,可以避免柱形孔填孔的問題,將本發(fā)明的產品用于多層陶瓷線路板互連時,...
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