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含有填充銅柱的高導熱陶瓷基板及其制備工藝的制作方法技術資料下載

技術編號:8092907

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專利摘要本發(fā)明公開了含有填充銅柱的高導熱陶瓷基板及其制備工藝,含有填充銅柱的高導熱陶瓷基板陶瓷基板中設有若干通孔,通孔是通過沿陶瓷基板用陶瓷片厚度方向貫穿打孔形成的,通孔的上下兩個孔口的面積不相等,且通孔中設有填充銅柱。該高導熱陶瓷基板的制備工藝,包括步驟1)沿陶瓷片厚度方向貫穿打孔;2)對打孔后的陶瓷片依次濺射緩沖層和導電層;3)電鍍銅,使得孔的下口被封閉,獲得盲孔;4)繼續(xù)電鍍,使得盲孔被充滿。本發(fā)明的產品的通孔的上下孔口面積不等,對其進行填充,可以避免柱形孔填孔的問題,將本發(fā)明的產品用于多層陶瓷線路板互連時,...
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