技術(shù)編號(hào)：8091003
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。專利摘要本發(fā)明公開了，包括步驟一、裝料將顆粒狀多晶硅裝入坩堝內(nèi)作為鑄錠硅料；二、預(yù)熱；三、熔化，過程如下第1步、保溫；第2步至第5步、升溫及加壓；第6步、第一次升溫及保壓溫度提升至T3，T3=1450℃；第7步第二次升溫及保壓溫度提升至T4，T4=1500℃；第8步、第三次升溫及保壓溫度提升至T5，T5=1550℃；第6步至第8步中升溫時(shí)間均為260～300min；第9步、保溫；第10步、持續(xù)保溫；四、長(zhǎng)晶；五、退火及冷卻。本發(fā)明方法步驟簡(jiǎn)單、設(shè)計(jì)合理、實(shí)現(xiàn)方便且易于掌握、使用效果好，能用低成本顆粒狀多晶硅制成高轉(zhuǎn)...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。