技術編號：8090242
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。專利摘要本發(fā)明涉及一種極紫外激勵光源(1)，其具有至少一個用于發(fā)射至少一個激光射束(10，12)的激光射束源(9，9')和一個用于操縱所述至少一個激光射束(10，12)的射束導引設備(22)，所述射束導引設備具有用于由所述至少一個激光射束(10，12)產(chǎn)生至少兩個分離射束(10'，11，12'，13)的至少一個分束器(2)、用于操縱所述分離射束(10'，11，12'，13)中的至少一個分離射束的至少一個鏡(4，5，15，16，17，18)或至少一個透鏡、用于疊加所述至少兩個分離射束(10″，11″'，12″，13″...
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