具有激光射束源和用于操縱激光射束的射束導(dǎo)引設(shè)備的極紫外激勵光源的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種極紫外激勵光源(1)，其具有：至少一個用于發(fā)射至少一個激光射束(10，12)的激光射束源(9，9')和一個用于操縱所述至少一個激光射束(10，12)的射束導(dǎo)引設(shè)備(22)，所述射束導(dǎo)引設(shè)備具有：用于由所述至少一個激光射束(10，12)產(chǎn)生至少兩個分離射束(10'，11，12'，13)的至少一個分束器(2)、用于操縱所述分離射束(10'，11，12'，13)中的至少一個分離射束的至少一個鏡(4，5，15，16，17，18)或至少一個透鏡、用于疊加所述至少兩個分離射束(10″，11″'，12″，13″')的疊加鏡(3)，和用于產(chǎn)生所述兩個分離射束(10″，11″'，12″，13″')的相應(yīng)焦點(diǎn)(7，8)的聚焦裝置(6)。
【專利說明】具有激光射束源和用于操縱激光射束的射束導(dǎo)引設(shè)備的極紫外激勵光源

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種具有激光射束源和用于操縱激光射束的射束導(dǎo)引設(shè)備的極紫外激勵光源，尤其涉及具有用于操縱所述激光射束的至少一個分離射束的射束導(dǎo)引設(shè)備的極紫外激勵光源。

【背景技術(shù)】
[0002]已知用于產(chǎn)生EUV(Extreme Ultra-V1lett:極紫外)福射的設(shè)備，其借助例如CO2激光器的激光射束激勵靶材料，以便發(fā)射極紫外輻射，所述靶材料包含氙、鋰或錫。
[0003]文獻(xiàn)WO 2011/162903示出一種激光器，其以相應(yīng)的方式激勵靶材料，以便作為極紫外激勵光源起作用。為了改善極紫外光產(chǎn)生的效率，首先由所謂的預(yù)脈沖(“pre-pulse”)撞擊靶材料微滴，并且在此將微滴擴(kuò)大、轉(zhuǎn)化成氣體、汽化或轉(zhuǎn)化為弱等離子體。由所述“預(yù)脈沖”預(yù)處理的靶材料然后通過所謂的主脈沖(“main-pulse”)轉(zhuǎn)換為等離子體并且輻射極紫外光。按具體情況，不同激光器作為用于“預(yù)脈沖”和“主脈沖”的光源使用，所述預(yù)脈沖和所述主脈沖然后例如借助光學(xué)器件、射束組合器(“beam combiner”)在共同的射束路徑上引入到共同的放大器中。
[0004]不同激光器也可以輻射具有不同波長的光，其中，在使用多個激光器的情況下，具有不同波長的激光射束由于色差而聚焦到激光射束的軸線上的在不同間距處的焦點(diǎn)上。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明所基于的任務(wù)在于，提供一種極紫外激勵光源，其使得可能的是，如此操縱至少一個激光射束，使得產(chǎn)生所述至少一個激光射束的位于不同位置上的不同焦點(diǎn)。
[0006]所述任務(wù)通過根據(jù)權(quán)利要求1所述的極紫外激勵光源解決。本發(fā)明的擴(kuò)展方案是從屬權(quán)利要求的主題。
[0007]通過由射束導(dǎo)引設(shè)備將激光射束劃分成多個分離射束以及通過操縱所述激光射束的分離射束中的至少一個而存在以下可能性:分別在預(yù)先確定的間距處在預(yù)先確定的位置上產(chǎn)生激光射束的多個焦點(diǎn)，其中，所述三個空間維度中的預(yù)先確定的位置可能不同。由此對于極紫外輻射產(chǎn)生而言可以調(diào)節(jié)用于“預(yù)脈沖”的焦點(diǎn)或者匯聚，其不同于“主脈沖”的焦點(diǎn)。因此，可以最佳照射靶材料，以便撞擊在其軌跡中的最佳的第二位置上的、通過“預(yù)脈沖”在第一位置上預(yù)處理的靶材料微滴并且激勵其至極紫外光輻射，所述軌跡通過初始方向和初始速度、重力和由“預(yù)脈沖”引起的偏轉(zhuǎn)來確定。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0008]下面根據(jù)參考附圖的實(shí)施例闡述本發(fā)明。
[0009]圖1示出具有射束導(dǎo)引設(shè)備的第一實(shí)施方式的極紫外激勵光源的原理圖，所述射束導(dǎo)引設(shè)備具有用于操縱激光射束源的激光射束的反射分離射束的平面鏡；
[0010]圖2示出具有射束導(dǎo)引設(shè)備的第二實(shí)施方式的極紫外激勵光源的原理圖，所述射束導(dǎo)引設(shè)備用于操縱各激光射束源的兩個激光射束；
[0011]圖3示出具有射束導(dǎo)引設(shè)備的第三實(shí)施方式的極紫外激勵光源的原理圖，所述射束導(dǎo)引設(shè)備具有彎曲鏡；
[0012]圖4示出具有射束導(dǎo)引設(shè)備的第四實(shí)施方式的極紫外激勵光源的原理圖，在所述射束導(dǎo)引設(shè)備中不僅操縱反射分離射束而且操縱透射分離射束；
[0013]圖5示出根據(jù)第五實(shí)施方式的射束導(dǎo)引設(shè)備中的光程的原理圖，用于補(bǔ)償偏振誤差或相移。

【具體實(shí)施方式】
[0014]圖1示出具有射束導(dǎo)引設(shè)備22的極紫外激勵光源I的第一實(shí)施方式，所述射束導(dǎo)引設(shè)備用于操縱激光射束10。操縱應(yīng)理解為改變激光射束的方向和/或改變激光射束的發(fā)散。射束導(dǎo)引設(shè)備22具有分束器2、第一鏡4、第二鏡5和疊加鏡3。此外，透鏡設(shè)置為射束導(dǎo)引設(shè)備22中的聚焦裝置6。
[0015]分束器2在該實(shí)施方式中設(shè)有可半穿透的涂層。由此，劃分射到分束器2上的激光射束10，并且產(chǎn)生透射分離射束10’和反射分離射束11。第一鏡4和第二鏡5在該實(shí)施方式中是平坦地或者說平面地構(gòu)造并且完全反射入射光。疊加鏡3設(shè)有涂層，所述涂層與分束器2的涂層相配。由此疊加鏡3對于射到疊加鏡的一側(cè)上的激光射束起透射性作用而對于射到另一側(cè)上的激光射束起反射性作用。聚焦裝置6構(gòu)造為透鏡并且產(chǎn)生射到所述透鏡上的激光射束10〃、11" ’的焦點(diǎn)7、8。替代地，聚焦裝置6也可以構(gòu)造為鏡或由多個光學(xué)元件組成的系統(tǒng)。
[0016]在一種替代的實(shí)施方式中，根據(jù)幾何和光學(xué)規(guī)定，設(shè)有僅僅一個鏡4或者設(shè)有多于兩個鏡4、5。透射性元件一一例如分束器2、疊加鏡3和聚焦裝置6優(yōu)選由金剛石制造。由此確保，透射射束不受透射性元件中的熱效應(yīng)影響或者僅僅略受其影響。替代地，可以使用其他合適的材料。原則上ZnSe適合作為襯底，但在這種情況下通過形成的溫度梯度能夠預(yù)料透射射束中的顯著的發(fā)散變化。
[0017]為了產(chǎn)生激光射束10，設(shè)有激光射束源9，例如0)2激光器。通過未示出的控制設(shè)備如此控制激光射束源9，使得由所述激光射束源發(fā)出具有在紅外光譜范圍中的波長的激光射束脈沖。激光射束源9基本上具有種子激光器和放大器級。替代地，如下面所述，也可以設(shè)有多個種子激光器，它們的激光射束在共同的放大器級中被放大，或者替代地在分開的放大器級中被放大。
[0018]激光射束10射到分束器2上，在那被劃分，并且產(chǎn)生第一透射分離射束10’和第一反射分離射束11。第一透射分離射束10’的強(qiáng)度與第一反射分離射束11的強(qiáng)度的比例取決于分束器2的涂層。通常，如此確定功率分配，使得透射分離射束的功率是反射分離射束的功率的約10% -30%。
[0019]第一透射分離射束10’然后射到疊加鏡3上并且通過所述疊加鏡透射，從而產(chǎn)生第二透射分離射束10〃。第二透射分離射束10〃然后射到聚焦裝置6上并且在那聚焦到第一焦點(diǎn)7上。
[0020]第一反射分離射束11在第一鏡4上反射，從而產(chǎn)生第二反射分離射束11’。第二反射分1?射束11’射到第二鏡5上并且在那反射成第三反射分尚射束11〃。第三反射分尚射束11〃然后射到疊加鏡3上并且在那反射成第四反射分離射束11" ’。第四反射分離射束11" ’射到聚焦裝置6上并且在那聚焦到第二焦點(diǎn)8上。
[0021]激光射束源9、分束器2、第一鏡4、第二鏡5和疊加鏡3分別如此構(gòu)造和設(shè)置，使得第一焦點(diǎn)7和第二焦點(diǎn)8在該實(shí)施方式中具有距離聚焦裝置6的相同間距，但位于不同位置上。焦點(diǎn)7、8所處的位置在此位于一條橫向于形成焦點(diǎn)7、8的激光射束的光學(xué)軸線的線上。
[0022]圖2示出射束導(dǎo)引設(shè)備22的第二實(shí)施方式。在該實(shí)施方式中，設(shè)有兩個激光射束源9、9’。激光射束源9在以下方面區(qū)別于激光射束源9’:激光射束源9發(fā)射具有另一個波長的光。激光射束源9發(fā)射具有第一波長A1的激光射束，而激光射束源9’發(fā)射具有第二入2的激光射束。激光射束通過光學(xué)元件20、21合并并且形成同心激光射束12。替代地，使激光射束源9、9’的激光射束也直接定向到分束器2上。
[0023]在該實(shí)施方式中，分束器2如此構(gòu)造，使得它具有過濾涂層，所述過濾涂層基本上反射一個波長范圍并且基本上透射另一個波長范圍。在該實(shí)施方式中，基本上透射具有波長范圍A1的激光射束并且基本上反射具有波長范圍λ 2的激光射束。由此產(chǎn)生第一透射分離射束12’和第一反射分離射束13。
[0024]第一透射分離射束12’通過疊加鏡3透射并且形成第二透射分離射束12"，所述疊加鏡在此也與所述分束器2相配地涂覆。第二透射分離射束12"通過聚焦裝置6聚焦，然后產(chǎn)生第一焦點(diǎn)7。
[0025]與第一實(shí)施方式類似，在第二實(shí)施方式中，所述第一反射分離射束13然后同樣在鏡4和5上反射，從而產(chǎn)生第二反射分尚射束13’和第三反射分尚射束13〃。第三反射分尚射束13"然后通過疊加鏡3反射成朝向聚焦裝置6的第四反射分離射束13" ’，并且通過聚焦裝置6使得第四反射分離射束13" ’聚焦到第二焦點(diǎn)8上。
[0026]通過使用兩個激光射束源9、9’可能的是，不僅產(chǎn)生兩個空間上分離的焦點(diǎn)7、8，而且通過相應(yīng)的控制產(chǎn)生時間上不同的焦點(diǎn)7、8，其中，也能夠在不同時間產(chǎn)生空間上分離的焦點(diǎn)。
[0027]在圖3中示出射束導(dǎo)引設(shè)備22的第三實(shí)施方式。與在圖2中示出的第二實(shí)施方式的區(qū)別在于，第一鏡4不是平坦的，而是彎曲的。通過第一鏡4的曲率改變激光射束的發(fā)散，從而通過鏡4、5反射的激光射束以與通過分束器2和疊加鏡3透射的激光射束不同的發(fā)散入射，從而相比前面的實(shí)施方式第二焦點(diǎn)8距離聚焦裝置6具有不同的間距(在此更大)。替代地，根據(jù)鏡的曲率，第二焦點(diǎn)距離聚焦裝置6的間距可以更小。
[0028]替代地，所述焦點(diǎn)距離聚焦裝置6的間距也可以通過以下方式發(fā)生變化:焦點(diǎn)沿著一垂直于聚焦裝置6的光學(xué)軸線的軸線移動。
[0029]在一種替代的實(shí)施中，也可以是或者僅僅第二鏡5彎曲或者兩個鏡4、5彎曲。此夕卜，替代地不必一定通過彎曲鏡改變激光射束的發(fā)散。發(fā)散的改變也能夠通過其他光學(xué)元件——例如透鏡或多于兩個鏡4、5實(shí)現(xiàn)。
[0030]原則上，在該實(shí)施方式中通過激光射束源9、9’的激光射束的定向、分束器2的定向、鏡4、5的定向和疊加鏡3的定向確定所述激光射束在疊加鏡3之后和因此在聚焦裝置6之后的定向，并且在此至少通過鏡4、5的曲率確定焦點(diǎn)距離聚焦裝置6的間距。由此例如能夠借助分離射束的不同發(fā)散產(chǎn)生同心射束(在此未示出)，或者(如所述那樣)所述分離射束在疊加鏡3之后相互圍成一個角。在同心射束的情況下，根據(jù)分離射束的發(fā)散，能夠產(chǎn)生在同心射束的軸線上的、距離聚焦裝置6不同間距的焦點(diǎn)。在分離射束一一所述分離射束在聚焦裝置6之后也相互圍成一個角一一的情況下，不僅焦點(diǎn)距離聚焦裝置6的間距可以不同，而且焦點(diǎn)的位置可以如此預(yù)先確定，使得所述焦點(diǎn)沒有位于其他分離射束的軸線上。由此能夠?qū)崿F(xiàn)這些焦點(diǎn)在所有三個空間方向上的相互空間分離。
[0031]在另一個替代的實(shí)施方式中，分束器2和疊加鏡3之間的間隙可以可選地構(gòu)造為第一封閉空間14。可以相對于周圍環(huán)境改變所述第一封閉空間14中的預(yù)先確定的壓力，所述壓力通過用于調(diào)節(jié)所述壓力的裝置(例如通過可控制的壓力調(diào)節(jié)器)來調(diào)節(jié)，該裝置由控制設(shè)備控制。通過相對于周圍環(huán)境改變壓力的方式能夠改變所述分束器2上的和疊加鏡3上的反射面的曲率，以便因此改變反射射束的發(fā)散，由此在運(yùn)行期間也能夠改變焦點(diǎn)與聚焦裝置6的間距。替代地，也可能的是，僅僅分束器2或者僅僅疊加鏡3限界所述第一封閉空間14。
[0032]同樣也能夠?qū)崿F(xiàn)鏡4、5的可選電動翻轉(zhuǎn)(Verkippen)，其中，由控制設(shè)備控制相應(yīng)的翻轉(zhuǎn)裝置，因此能夠在運(yùn)行期間改變焦點(diǎn)8的位置。在電動翻轉(zhuǎn)與鏡的曲率調(diào)整的可選的組合下，能夠在所有三個空間方向上持續(xù)地改變焦點(diǎn)8的位置。
[0033]對于在圖2中所示的具有不同波長λ#Ρ λ 2的激光射束替代地，也可以使激光射束源9、9’的激光射束不同地偏振。然后，激光射束根據(jù)偏振狀態(tài)被透射或反射，從而產(chǎn)生相應(yīng)的分離射束。然后，與在圖2或圖3中所示的激光射束12、13類似地操縱如此產(chǎn)生的、具有不同偏振的分尚射束。
[0034]在圖4中示出射束導(dǎo)引設(shè)備22的一種實(shí)施方式，在所述射束導(dǎo)引設(shè)備中不僅操縱第一反射分離射束11而且操縱第一透射分離射束10’。在此，也通過分束器2產(chǎn)生分離射束10’ Ulo如上面所述，可以在利用激光射束10的不同特性的情況下劃分所述激光射束源9 (或者替代地，多個激光射束源9、9’)的激光射束10。
[0035]為了操縱所述第一透射分離射束10’，在此設(shè)有第三鏡15、第四鏡16、第五鏡17和第六鏡18。替代地，所述鏡15、16、17、18中的一個或多個也可以通過透鏡取代。此外，不必一定需要四個鏡15、16、17、18。替代地，也可以設(shè)置其他合適的數(shù)量。
[0036]第一透射分離射束10’通過第三鏡15反射和偏轉(zhuǎn)，并且與所述實(shí)施方式類似地，操縱所述第一透射分離射束10’。由此可以改變其方向和其發(fā)散，以便在距離聚焦裝置6 —預(yù)先確定的間距的預(yù)先確定的位置上產(chǎn)生第一焦點(diǎn)7。
[0037]在此，可選地也可能的是，在第三鏡15和第六鏡18 (如所示的那樣)之間的間隙中設(shè)置第二封閉空間19，或者替代地，在所述鏡15、16、17、18中的其他鏡之間也是可能的，或者僅僅一個限界第二封閉空間19的鏡也是可能的。在第二封閉空間19中能夠相對于周圍環(huán)境調(diào)節(jié)和改變預(yù)先確定的壓力。因此，由此能夠改變射到聚焦裝置6上的分離射束10"的發(fā)散，并且由此能夠改變焦點(diǎn)7距離聚焦裝置6的間距。
[0038]通過所述鏡15、16、17、18中的一個或多個鏡的可選的電動翻轉(zhuǎn)，能夠調(diào)節(jié)射到聚焦裝置6上的分離射束10"的射束方向，并且通過調(diào)節(jié)所述鏡15、16、17、18中的一個或多個鏡的曲率能夠調(diào)節(jié)焦點(diǎn)7距離聚焦裝置6的間距，并且因此調(diào)節(jié)焦點(diǎn)7的位置。
[0039]圖5示出根據(jù)第五實(shí)施方式的射束導(dǎo)引設(shè)備22中的光程的原理圖，以便補(bǔ)償偏振誤差或相移。
[0040]如果透射射束不是經(jīng)純直線偏振的，其中，經(jīng)直線偏振的激光射束的偏振平面位于偏轉(zhuǎn)平面中，則產(chǎn)生偏振誤差。在任意偏振平面的情況下或者尤其在圓周性偏振的情況下，透射射束獲得兩個與所述偏轉(zhuǎn)平面垂直和平行(s偏振對P偏振)地入射的偏振部分的與涂層系統(tǒng)性地相關(guān)的相移。不僅對于透射射束而且對于反射射束發(fā)生系統(tǒng)性的相移。
[0041]圖5中的分束器2如此設(shè)置，使得通過激光射束12和第一反射分離激光射束13形成的平面與通過在第二鏡5上反射的第三分離射束13"和在疊加鏡3上反射的第四分離射束13" ’形成的平面垂直地設(shè)置。在此重要的是，所述兩個平面相互垂直，從而入射激光射束12的p-(s-)偏振部分一次作為p-(s-)偏振并且一次作為S-(p_)偏振穿過兩個光學(xué)元件2和3。因此總的來說，兩個偏振部分獲得相同的相移，從而均衡相對的相位誤差。因此，激光射束13" ’的透射部分的偏振或者透射分尚射束的偏振與入射激光射束12的偏振相同。
[0042]對于反射激光射束也發(fā)生系統(tǒng)性的相移。通過合適選擇在反射性光學(xué)元件2、3、4、5中的一個或多個上的偏轉(zhuǎn)角和/或通過在反射分離射束13、13’和13"中的一個或者多個的光程中在光學(xué)元件2和3之間使用一個或多個其他光學(xué)元件也能夠?qū)τ诩す馍涫?3" ’的反射部分或者對于反射分離射束補(bǔ)償相移。
[0043]在運(yùn)行中，通過極紫外激勵光源I發(fā)射用于產(chǎn)生EUV(極紫外)輻射的激光射束。通過兩個種子激光器，在極紫外激勵光源I中分別產(chǎn)生具有波長A1S 10.59ym和λ 2為10.26 μ--的激光射束。這些激光射束在第一放大器級之前疊加并且在放大器級中放大。經(jīng)放大的激光射束10然后射到分束器2上，所述分束器如此實(shí)施，使得反射具有所述一個波長的激光射束并且透射具有另一個波長的激光射束。例如，透射具有較大波長的激光射束并且反射具有較小波長的激光射束。透射射束10’然后射到疊加鏡3上，并且在那被透射，并且射到聚焦裝置6上，所述聚焦裝置將激光射束聚焦到第一焦點(diǎn)7上。第一反射射束11通過鏡4、5反射并且射到疊加鏡3上，該第一反射射束由所述疊加鏡偏轉(zhuǎn)到聚焦裝置6，所述聚焦裝置將激光射束聚焦到第二焦點(diǎn)8上。如此控制發(fā)出具有波長λ = 10.26μπι的激光射束的種子激光器，使得由極紫外激勵光源I發(fā)出“預(yù)脈沖”，所述預(yù)脈沖在與時間相關(guān)的定位上的第一焦點(diǎn)7中在時刻A在位置A上撞擊在拋物線形軌跡上橫向于形成焦點(diǎn)的激光射束的光學(xué)軸線地運(yùn)動的鋅微滴?！邦A(yù)脈沖”具有約3.5kw的平均功率。由此使鋅微滴變形，對其加熱和使其膨脹。然后，控制發(fā)出具有λ = 10.59 μm的激光射束的種子激光器，從而發(fā)出“主脈沖”。在經(jīng)膨脹的鋅微滴繼續(xù)運(yùn)行期間，經(jīng)膨脹的鋅微滴在與時間相關(guān)的定位上的第二焦點(diǎn)8中在時刻B在位置B上通過“主脈沖”激勵至等離子體發(fā)光?！爸髅}沖”具有35kW的平均功率。
[0044]在此產(chǎn)生的具有13.5nm的光然后例如用于半導(dǎo)體制造的晶片的光照。對于產(chǎn)生極紫外輻射和優(yōu)化其產(chǎn)生重要的是，不僅準(zhǔn)確地確定時刻A和時刻B之間的時間間隔，而且準(zhǔn)確地確定位置A相對于位置B的空間位置，以便激勵鋅微滴至等離子體發(fā)光。焦點(diǎn)的與時間相關(guān)的定位的固定調(diào)節(jié)或者根據(jù)經(jīng)驗(yàn)、即借助事先例如通過測量求取的所需要的值、通過鏡的手動調(diào)節(jié)來實(shí)現(xiàn)。替代地，用于產(chǎn)生極紫外光的、包含極紫外激勵光源I的系統(tǒng)設(shè)有檢測裝置，所述檢測裝置不僅檢測鋅微滴的與時間相關(guān)的位置而且檢測“預(yù)脈沖”和“主脈沖”的焦點(diǎn)的與時間相關(guān)的位置，例如通過效率的檢測，并且通過所檢測的值、通過控制設(shè)備求取焦點(diǎn)的與時間相關(guān)的最佳定位并且將所述最佳定位轉(zhuǎn)發(fā)給用于調(diào)節(jié)焦點(diǎn)的位置的調(diào)整單元，從而通過“預(yù)脈沖”和“主脈沖”盡可能準(zhǔn)確地撞擊所述鋅微滴。所述效率的檢測也可以通過所發(fā)射的極紫外光強(qiáng)度的檢測來實(shí)現(xiàn)。
[0045]替代地，如果軌跡曲線已知，則也可以根據(jù)鋅微滴沿著其軌跡曲線的運(yùn)動的初始時刻和其軌跡速度計(jì)算所述鋅微滴的定位。
[0046]替代地，僅僅一個種子激光器的應(yīng)用也是可能的，其中，然后借助可調(diào)整的鏡使種子激光射束偏轉(zhuǎn)。然而，“預(yù)脈沖”和“主脈沖”之間的時間間隔很小(約I μ s)。
[0047]在一種替代的變型方案中，不僅CO2激光器(在圖2中示為9’)的而且YAG激光器(在圖2中示為9)的激光射束被引導(dǎo)進(jìn)射束導(dǎo)引設(shè)備22中。提供約35kW的主功率的CO2激光器的光和提供約500W的主功率的YAG激光器的光被定向到作為光學(xué)元件20的、由石英玻璃制成的圓片(Scheibe)上。石英玻璃對于0)2激光器的激光射束是反射性的而對于YAG激光器的激光射束是透射性的。然而，不同于在圖2中所示，也可以使CO2激光器的光束直接定向到光學(xué)元件20上，而不通過光學(xué)元件21使其偏轉(zhuǎn)。
[0048]所描述的實(shí)施方式不受限制并且可以相互組合，以便實(shí)現(xiàn)用于輻射EUV光的靶材料的最佳激勵。替代地，射束導(dǎo)引也可以包含其他的沒有包含在所述實(shí)施方式中的元件。
【權(quán)利要求】
1.一種極紫外激勵光源(I)，其具有: 至少一個用于發(fā)射至少一個激光射束(10，12)的激光射束源(9，9’)和 一個用于操縱所述至少一個激光射束(10，12)的射束導(dǎo)引設(shè)備(22)，所述射束導(dǎo)引設(shè)備具有:用于由所述至少一個激光射束(10，12)產(chǎn)生至少兩個分離射束(10’，11，12’，13)的至少一個分束器(2)、用于操縱所述分離射束(10’，11，12’，13)中的至少一個分離射束的至少一個鏡(4，5，15，16，17，18)或至少一個透鏡、用于疊加所述至少兩個分離射束(10〃，11" ’，12"，13" ’)的疊加鏡(3)，和用于產(chǎn)生所述兩個分離射束(10〃，11" ’，12"，13" ’)的相應(yīng)焦點(diǎn)(7,8)的聚焦裝置(6)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的極紫外激勵光源(I)，其中，所述分束器(2)是可半穿透的鏡，其具有涂層，所述涂層對于所述激光射束(10，12)中的至少一個激光射束的一部分而言是反射性的而對于所述激光射束(10，12)中的所述至少一個激光射束的另一部分而言是透射性的。
3.根據(jù)以上權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的極紫外激勵光源(I)，其中，所述鏡(4，5，15，16，17,18)中的至少一個是平坦的。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的極紫外激勵光源(I)，其中，所述鏡(4，5，15，16，17，18)中的至少一個是彎曲的。
5.根據(jù)以上權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的極紫外激勵光源(I)，其中，所述至少一個分束器(2)、所述至少一個鏡(4，5，15，16，17，18)或所述至少一個透鏡、所述疊加鏡(3)和所述聚焦裝置(6)如此構(gòu)造和設(shè)置，使得所述分離射束(10"，12"，11" ’，13" ’)中的一個分離射束的焦點(diǎn)(7，8)位于預(yù)先確定的位置上。
6.根據(jù)以上權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的極紫外激勵光源(I)，其中，所述至少一個分束器(2)、所述至少一個鏡(4，5，15，16，17，18)或所述至少一個透鏡、所述疊加鏡(3)和所述聚焦裝置(6)如此構(gòu)造和設(shè)置，使得所述分離射束(10"，12")中的一個分離射束的第一焦點(diǎn)(7)位于不同于所述分離射束(11" ’，13" ’)中的另一個分離射束的第二焦點(diǎn)(8)的位置的位置上。
7.根據(jù)以上權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的極紫外激勵光源(I)，其中，所述第一焦點(diǎn)(7)和所述第二焦點(diǎn)(8)位于一條橫向于形成所述焦點(diǎn)(7，8)的分離射束(10〃，11" ’，12"，13" ’)的光學(xué)軸線的線上。
8.根據(jù)以上權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的極紫外激勵光源(I)，其中，至少一個透射性元件(2,3,6)由金剛石制成。
9.根據(jù)以上權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的極紫外激勵光源(I)，其中，設(shè)有至少一個第一封閉空間(14)并且設(shè)有用于調(diào)節(jié)所述第一封閉空間(14)中的預(yù)先確定的壓力的裝置，所述第一封閉空間至少由所述分束器(2)和所述疊加鏡(3)之一限界，其中，所述分束器(2)的和/或所述疊加鏡(3)的曲率通過所述預(yù)先確定的壓力的改變來改變。
10.根據(jù)以上權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的極紫外激勵光源(I)，其中，設(shè)有至少一個第二封閉空間(19)并且設(shè)有用于調(diào)節(jié)所述第二封閉空間(19)中的預(yù)先確定的壓力的裝置，所述第二封閉空間至少由所述鏡(4，5，15，16，17，18)之一限界，其中，所述鏡(4，5，15，16，17，18)中的至少一個的曲率通過所述預(yù)先確定的壓力的改變來改變。
11.根據(jù)以上權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的極紫外激勵光源(1)，其中，所述分束器(2)是可半穿透的鏡，其具有過濾涂層，所述過濾涂層對于一個波長范圍而言是透射性的并且對于另一個波長范圍而言是反射性的。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的極紫外激勵光源(I)，其具有至少兩個激光射束源(9，9’)，其中，所述激光射束源(9，9’)輻射具有不同波長(A1, λ2)的激光射束。
13.根據(jù)權(quán)利要求1至10中任一項(xiàng)所述的極紫外激勵光源(I)，其中，所述分束器(2)是可半穿透的鏡，其具有過濾涂層，所述過濾涂層對于所述至少一個激光射束(12)的一個偏振狀態(tài)而言是反射性的并且形成反射分離射束(13)，而對于所述至少一個激光射束(10)的另一個偏振狀態(tài)而言是能夠穿透的并且產(chǎn)生透射分離射束(12’)。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的極紫外激勵光源(1)，其中，射到所述分束器(2)上的激光射束(12)和由所述分束器(2)反射的分離射束(13)設(shè)置在第一平面中，并且至少兩個鏡(4,5)或透鏡如此設(shè)置，使得由所述鏡(4，5)或透鏡操縱的、射到所述疊加鏡(3)上的反射分離射束(13〃)和由所述疊加鏡(3)反射的分離射束(13〃 ’)設(shè)置在第二平面中，并且所述第一平面和所述第二平面彼此垂直。
15.根據(jù)權(quán)利要求13或14所述的極紫外激勵光源(I)，其中，所述極紫外激勵光源具有至少兩個激光射束源(9，9’)，其中，所述激光射束源(9，9’)輻射具有不同偏振的激光射束。
16.根據(jù)權(quán)利要求12或15所述的極紫外激勵光源(I)，其中，所述激光射束源(9，9’)是能夠彼此分開地控制的。
17.根據(jù)以上權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的極紫外激勵光源(I)，其中，所述操縱包括改變激光射束(10，12)的方向。
18.根據(jù)以上權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的極紫外激勵光源(I)，其中，所述操縱包括改變激光射束(10，12)的發(fā)散。
19.一種用于借助根據(jù)以上權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的極紫外激勵光源(I)產(chǎn)生分離射束的方法，其中，所述方法具有以下步驟: 對于“預(yù)脈沖”和“主脈沖”檢測靶材料的與時間相關(guān)的定位； 如此調(diào)節(jié)所述射束導(dǎo)引設(shè)備(22)，使得所述兩個分離射束(10"，11" ’，12"，13" ’)的相應(yīng)焦點(diǎn)(7，8)基本上位于所述與時間相關(guān)的定位上； 如此控制所述激光射束源(9)，使得所述至少一個激光射束(10，12)在一個時刻產(chǎn)生所述第一焦點(diǎn)(7)和所述第二焦點(diǎn)(8)，在所述時刻所述靶材料基本上位于相應(yīng)的與時間相關(guān)的定位上。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的方法(I)，其中，根據(jù)經(jīng)驗(yàn)求取所述與時間相關(guān)的定位并且通過所述射束導(dǎo)引設(shè)備(22)固定調(diào)節(jié)所述與時間相關(guān)的定位。
21.根據(jù)權(quán)利要求19所述的方法，其中，在所述極紫外激勵光源(I)運(yùn)行期間求取所述與時間相關(guān)的定位，并且通過控制設(shè)備調(diào)節(jié)所述射束導(dǎo)引設(shè)備(22)并且控制所述至少一個激光射束源(9)。
【文檔編號】H05G2/00GK104472019SQ201380030885
【公開日】2015年3月25日 申請日期:2013年5月29日 優(yōu)先權(quán)日:2012年6月12日
【發(fā)明者】M·蘭貝特, J·舒爾茨 申請人:通快激光與系統(tǒng)工程有限公司