技術(shù)編號(hào):8068518
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。專(zhuān)利摘要本發(fā)明提供一種有機(jī)EL元件的制造方法,所述有機(jī)EL元件具有包括上部電極和下部電極的一對(duì)電極、以及設(shè)置在所述一對(duì)電極之間的有機(jī)功能層,所述制造方法中,使用磁控濺射法,以4.5W/cm2以上且9.0W/cm2以下的成膜功率密度,在有機(jī)功能層上形成上部電極。專(zhuān)利說(shuō)明有機(jī)EL元件的制造方法技術(shù)領(lǐng)域[0001]本發(fā)明涉及有機(jī)EL元件的制造技術(shù),尤其涉及有機(jī)EL元件的電極形成技術(shù)。背景技術(shù)[0002]對(duì)于有機(jī)EL (電致發(fā)光)元件,通過(guò)在基板上按照下部電極、一層或多層有機(jī)功能層以及上部電極的順序進(jìn)行成膜,從而制造有機(jī)E...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。