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氮化物單晶的制造方法及其使用的高壓釜的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):8065860

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專利摘要提供可以兼?zhèn)涓呓Y(jié)晶生長(zhǎng)速率和高結(jié)晶品質(zhì)的氮化物單晶的新制造方法及可用于該方法的新高壓釜。本發(fā)明提供氮化物單晶的制造方法及可用于該方法的高壓釜,所述方法是通過(guò)氨熱法制造含Ga氮化物單晶的方法,包含向高壓釜內(nèi)至少導(dǎo)入原料、酸性礦化劑、氨后,在單晶生長(zhǎng)部位的溫度(T1)為600℃~850℃、該單晶生長(zhǎng)部位的溫度(T1)與原料供應(yīng)部位的溫度(T2)之間存在T1>T2的關(guān)系、并且該高壓釜內(nèi)的壓力為40MPa~250MPa的條件下,令含Ga氮化物單晶生長(zhǎng)。專利說(shuō)明氮化物單晶的制造方法及其使用的高壓釜技術(shù)領(lǐng)域[00...
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